光刻胶行业深度分析报告( 44 页)

    2021-09-05

光刻胶行业深度分析报告( 44 页)


目录

1. 光刻技术:集成电路制造皇冠上的明珠 ...... 6

1.1 光刻工艺历史:传承与革新并存的光影游戏 ..... 6

1.2 光刻工艺流程 ....... 9

1.3 光刻工艺窗口及其评价方法 .... 15

2. 光刻胶:流动的黄金 ..... 17

2.1 光刻胶分类:紧贴应用 配方多样 ....... 17

2.2 光刻胶的演化:光线书写的编年史 ..... 20

2.3 光刻胶的应用场景 ...... 25

3. 光刻胶全球竞争格局:群雄争霸 实力说话 ....... 26

3.1 JSR:橡胶起家的光刻胶巨头 ...... 27

3.2 东京应化TOK:专注半导体材料的光刻胶巨头 ...... 29

3.3 信越化学:半导体材料多面手 .... 31

3.4 富士胶片:专注感光化学八十年 ..... 32

4. 国内光刻胶格局:技术代差今仍在 打铁还需自身硬 .... 35

4.1 彤程新材:参股核心企业 面板晶圆两手抓 ..... 35

4.2 晶瑞电材:双轮驱动 平台化初显 ....... 37

4.3 上海新阳:植根表面处理工艺 外延KrF 光刻胶 ..... 41

4.4 雅克科技:并购整合 平台效应初现 ....... 43

图表目录

图1: ASML 浸没式DUV 光刻系统TWINSCAN 2050i 使用的Carl Zeiss 光学镜组Startlith 1982i ....... 6

图2: 光刻工艺中主流曝光方式光路示意图 ....... 7

图3: 光谱波长频段对应关系 .... 8

图4: 光刻光源随晶圆制程的演进过程 ...... 8

图5: 干式光刻与浸入式光刻光路原理图 ...... 9

图6: ASML 浸入式光刻系统 .... 9

图7: ASML NXE3400 EUV 光刻系统光路示意图 .... 9

图8: HMDS 作用下硅表面亲水基团疏水化过程示意图 ...... 10

图9: 晶圆疏水预处理设备基本结构图 .... 10

图10: HMDS 处理前(左)后(右)水在TEOS 表面的接触角 ..... 10

图11: 光刻胶旋涂设备结构示意简图 .......11

图12: 光刻胶成膜厚度与转速关系图 ......11

图13: 光刻胶旋涂过程中胶膜形态的变化 .......11

图14: 前烘温度与分解速率的对应关系 .......11

图15: 盛美半导体Ultra C 湿法去胶工艺设备 .... 13

图16: 屹唐半导体Suprema 干法去胶设备 .... 13

图17: 左:扫描电子显微镜(CD-SEM)测得的关键尺寸数据 右:套刻精度测量的结果 ..... 13

图18: 典型光刻工艺的8 道核心流程 ..... 14

图19: TFT-LCD 光刻工艺示意图 ....... 14

图20: 多晶硅刻蚀、光刻与离子注入工艺流程 ....... 15

图21: 不同曝光能量下线宽随焦距的变化(泊松图) .... 16

图22: 光刻胶断面形貌随曝光能量和和焦距的变化示意图 ..... 16

图23: 使用负胶时的曝光过程示意简图 ...... 18

图24: 使用正胶时的曝光过程示意简图 ...... 18

图25: William Shockley 等人制作的世界上第一块集成电路 .... 20

图26: KTFR 光刻胶在光照下分解反应 ...... 20

图27: KTFR 光刻胶中环化聚戊二烯橡胶的交联反应 ..... 20

图28: 基于Novalac 与DNQ 的AZ 系列正胶原理示意简图 ...... 21

图29: 3M 公司提出的首个化学放大型光刻胶体系 ..... 22

图30: PBOCST 体系光刻胶在光致产酸剂催化下的作用机理图 ..... 23

图31: 光刻机top3 供应商市占率变化趋势 .... 23

图32: 甲基丙烯酸共聚物光刻胶体系中常用的奈蚀刻保护集团 ...... 24

图33: 化学修饰顶部涂层缩小图样尺寸的作用机理 .... 24

图34: 使用了CTO 顶部涂层后器件CD 以及均一度的改善 ....... 24

图35: 不同种类面板使用的光刻胶应用场景 ....... 25

图36: 2019 年全球光刻胶按应用分类占比(按用途) ....... 25

图37: 全球半导体光刻胶占比(按光源) ...... 25

图38: 中国光刻胶市场规模(亿元) ..... 26

图39: 中国光刻胶生产企业类型占比情况统计 ....... 26

图40: 2019 全球半导体光刻胶市场占有率情况 ..... 26

图41: JSR 近10 年经营情况(亿元) ....... 27

图42: 2019 年JSR 各业务营收结构 ...... 28

图43: JSR 全球范围内分支机构 .... 28

图44: TOK 公司产品线发展历程 ....... 29

图45: 东京应化营收构成-按产品类别(单位:百万日元) .... 30

图46: 东京应化营收来源-按地区(单位:百万日元) ....... 30

图47: 2019 年东京应化EUV、ArF、KrF、G-line/I-line 光刻胶产品全球市场份额 ...... 30

图48: 信越化学公司发展历程 .... 31

图49: 信越化学近5 年主要业务营业收入(Net Sales) ....... 31

图50: 信越化学近5 年主要业务林润(Operating Income) .... 31

图51: 富士胶片业务全景及其终端应用一览 ....... 32

图52: 2019 年富士胶片营收贡献分布 .... 34

图53: 富士胶片医疗与材料解决方案子业务营收结构 .... 34

图54: 彤程新材2016~2020 营收与营业利润变化情况(单位:亿元) ..... 35

图55: 彤程新材费用化研发费用及其在总营收中占比 .... 36

图56: 彤程新材研发人员变动趋势 ..... 36

图57: 彤程新材已公开专利情况 ..... 36

图58: 已公开专利检索结果分类 ..... 36

图59: 半导体制程用超高纯试剂分类 ..... 38

图60: 晶瑞超高纯试剂产品线 .... 38

图61: 晶瑞电材锂电材料产品线 ..... 38

图62: 晶瑞电材2016~2021 年营收结构(单位:亿元) ....... 39

图63: 2016~2019 晶瑞电材光刻胶销售额与利润 ....... 39

图64: 晶瑞电材光刻胶销量(吨) ..... 39

图65: 晶瑞电材光刻胶产品收入与产品单价 ....... 40

图66: 晶瑞电材专利历年公开专利 ..... 40

图67: 晶瑞电材光刻胶相关专利占比 ..... 40

图68: 晶瑞电材2018~2020 研发投入占比(单位:万元) ....... 41


[报告关键词]:   光刻胶  
合作共赢,共创未来

需要行业分析相关资料和报告?

每年为数千个企事业和个人提供专业化服务;量身定制你需要的行业分析的资料和报告

相信我们!企业客户遍及全球,提供政府部门、生产制造企业、物流企业、快消品行业专业化咨询服务;个人客户可以提供各类经济管理资料、商业计划、PPT、MBA/EMBA论文指导等。

点此填写您的需求

15+年的经验,值得信赖

可以QQ联系我们:896161733;也可以电话:18121118831

**涉及个人信息严格保密,敬请放心

商务服务

可以微信或者电话联系:18121118831

商业计划书

商务文档撰写

提供商业计划书、投资计划书咨询、撰写和指导

点击查看详细

可行性研究报告

商务咨询业务

服务企业、政府和投资者,提供各个产业可行性研究报告撰写和咨询服务

点击查看详细

物流产业园区规划

商务咨询业务

为企业提供物流园区规划咨询,包括市场调研、可行性、总体战略和运营规划等等

点击查看详细

PPT设计制作

商务PPT制作

商业计划书是一份全方位的项目计划,它从企业内部的人员、制度、管理以及企业的产品、营销、市场等各个方面对即将展开的商业项目进行可行性分析(包含论文PPT)。

点击查看详细