半导体射频电源专题分析报告( 48 页)

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摘要

射频电源：高技术壁垒核心零部件

✓ 射频电源是可以产生300KHz-300MHz频率的高频交流电源，虽然射频的频段很宽，但半导体设备用的射频电源工作频率一般处于 2MHz 至 60MHz 之间。核心技术难点在于参数稳定性、控制精度与阻抗匹配。随着技术的不断发展，市场将逐渐向高频、高功率、小型化和能效方向发展。

射频电源应用：

✓ 1）半导体：刻蚀、薄膜沉积、干法清洗、离子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT阵列、CELL成盒制作等。

半导体射频电源市场：国外头部企业垄断、市场集中度较高

✓ 2022年全球半导体射频电源市场销售额达到了7.26亿美元，预计2029年将达到14.57亿美元，年复合增长率（CAGR）为11.18%（2023-2029）。中国市场（含中国台湾地区）2022年市场规模为96.6百万美元，约占全球的13.31%。

✓ 2022年，全球第一梯队厂商主要有万机仪器、美国优仪（AE）、日本大阪变压器株式会社，占有大约52.95%的市场份额。

海外半导体射频电源公司如何发展：

✓ MKS：向半导体行业提供环形等离子体源的领导者，面向FinFET开发自适应脉冲技术，以一致的脉冲提供射频功率。

✓ AE：拥有更稳定的eVerest系列射频等离子体发生器、更快更准的Navigator II系列射频匹配网络，专有算法PowerInsight应对匹配网络生命周期的不确定性。深耕全射频传输系统，为多种工艺提供不同产品匹配方案。

✓ DAIHEN：1986年开始生产半导体制造设备用的射频发生器，使用内部等离子体评估室进行技术开发（如脉冲输出和频率调谐）、产品性能评估以及功能改进。