半导体设备零部件分析报告( 45 页)

---

目录

1. 半导体设备零部件简介及分类 ....... 7

1.1. 半导体设备的核心部分，下游厂商营业成本的主要来源 .... 7

1.2. 细分产品种类众多，通用型零部件较多 .... 8

1.2.1. 机械加工类零部件 ...... 8

1.2.2. 物料传送类零部件 ...... 9

1.2.3. 电气类零部件 ..... 10

1.2.4. 真空类零部件 ..... 10

1.2.5. 气液输送类零部件 .... 11

1.2.6. 光学类零部件 ..... 13

1.2.7. 热管理类零部件 ..... 13

2. 半导体设备零部件市场规模测算 ..... 14

2.1. 零部件价值在半导体设备总价值中占比近半 ..... 14

2.2. 市场规模：全球可达数百亿美元，中国大陆超百亿美元 ...... 15

2.3. 中国大陆市场：关键零部件市场规模超十亿美元 .... 15

2.4. 专用零部件：光刻机零部件市场规模大 ...... 16

2.5. 专用零部件：CMP 设备机械加工件基本为专项专用 ...... 17

3. 半导体设备零部件市场格局 ..... 17

3.1. 国外厂商稳踞行业头部，细分品类集中度高 ..... 17

3.2. 各细分赛道中厂商分布广，小而美特点突出 ..... 18

3.3. 国产率目前较低，未来提升空间较大 ....... 19

3.4. 厂商间有不同产品布局战略，“纵向”与“横向”战略并存 ..... 20

4. 聚焦海外龙头 ...... 21

4.1. 复盘海外龙头成长路径，看国内公司发展机会 .... 21

4.2. VAT：真空阀全球领导者，下游客户遍及各类高端制造业 ....... 22

4.3. 超科林：管理层经验丰富，深耕气体运输系统 .... 25

4.4. Ferrotec：以磁流体技术为基石，围绕半导体拓展业务板块 .... 26

4.5. MKS：“横+纵”向协同发展，打造平台型公司 ....... 29

4.6. 半导体产能向国内转移，“横向”拓展业务品类系机会所在 ..... 30

5. 投资建议 ....... 31

5.1. 正帆科技：工艺介质系统先行者，装备+材料+服务打造核心竞争力 ..... 31

5.2. 江丰电子：靶材国产替代龙头，持续研发促技术突破 ...... 33

5.3. 北方华创： 业绩持续高增长，设备品类加速扩张 ..... 35

5.4. 新莱应材：覆盖医药+泛半导体+食品包装，三大业务市场前景广阔 ..... 37

5.5. 华亚智能：下游订单高需求，公司收入利润规模继续高增长 ..... 38

5.6. 神工股份： 轻掺硅片厚积薄发，电极材料国产替代加速 ....... 40

5.7. 英杰电气：业绩稳定上升，新增订单全行业增长 .... 41

5.8. 富创精密：拥有多种技术工艺和先进技术，业绩呈上涨趋势 ..... 43

6. 风险提示 ....... 45

图表目录

图1：沉积及刻蚀设备常用零部件 .... 7

图2：半导体设备零部件产业链与重要产品类别及其相关公司 ..... 8

图3：石英制半导体设备零部件 ..... 9

图4：陶瓷制绝缘管 .... 9

图5：陶瓷机械手臂 .... 9

图6：金属机械手臂 .... 9

图7：压力传感器 ....... 10

图8：射频电源 ....... 10

图9：臭氧发生器 ....... 10

图10：可编程控制器.... 10

图11：真空阀 ..... 11

图12：真空规 ..... 11

图13：真空泵 ..... 11

图14：高真空压力计.... 11

图15：气体流量控制器（MFC）..... 12

图16：蒸汽浓度检测仪 ....... 12

图17：高真空用电磁阀 ....... 12

图18：大口径过滤器.... 12

图19：光刻过程 ..... 13

图20：光刻机 ..... 13

图21：热管理子系统和组件 ...... 13

图22：热电组件 ..... 14

图23：热电温度控制器 ....... 14

图24：全球半导体设备市场规模（单位：十亿美元） ....... 15

图25：全球半导体设备零部件市场规模及预期（单位：亿美元）.... 15

图26：中国大陆半导体设备零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ...... 15

图27：2020 年中国晶圆厂采购的8-12 吋晶圆设备零部件产品结构 ....... 16

图28：全球光刻机零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ..... 16

图29：全球CMP 专用零部件市场规模及预期（单位：亿美元） ...... 17

图30：2021 年全球半导体设备子系统前十大供应商 ...... 18

图31：2000-2020 年头部半导体设备子系统供应商市场份额 ..... 18

图32：Advanced Energy 的射频发生器产品实现在多个行业“横向”布局 ...... 21

图33：四类龙头公司.... 22

图34：2021 年公司营收结构 .... 22

图35：公司真空阀产品目录 ...... 23

图36：半导体制造用产品图（蝴蝶阀、角阀） ..... 23

图37：全球真空阀行业市占率排名 .... 23

图38：公司2021 年营收结构按下游应用划分 ...... 24

图39：公司阀产品在半导体领域市占率逐年提升 .... 24

图40：2015-2021 公司营收情况（单位：亿美元）.... 24

图41：2015-2021 公司净利润情况（单位：亿美元） ....... 24

图42：2015-2021 公司毛/净利率情况 ..... 24

图43：2021.07-2022.07 公司股价走势 （单位：瑞士法郎） ..... 24

图44：公司历程 ..... 25

图45：公司营收结构.... 25

图46：2022Q2 公司下游应用领域及主要客户 ...... 25

图47：2012-2021 公司营收情况（单位：亿美元）.... 26

图48：2012-2021 公司净利润情况（单位：亿美元） ....... 26

图49：2012-2021 公司毛/净利率情况 ..... 26

图50：2021.7-2022.07 超科林股价走势（单位：美元） ..... 26

图51：公司业务布局.... 27

图52：公司2021 财年营收结构按产品划分 ....... 27

图53：公司产品在半导体制造过程中的应用 ..... 27

图54：公司发展历史.... 27

图55：2012-2021 年公司营收情况（单位：亿美元） ....... 28

图56：2012-2021 年公司净利润情况（单位：亿美元） ...... 28

图57：2012-2021 年公司毛/净利率情况 ..... 28

图58：2021.07-2022.07Ferrotec 股价走势（单位：日元） .... 28

图59：公司部分产品图例 ...... 29

图60：公司营收结构（单位：亿美元） ...... 29

图61：2000-2020 公司主要并购事件 ....... 29

图62：2012-2021 年公司营收情况（单位：亿美元） ....... 30

图63：2012-2021 年公司净利润情况（单位：亿美元） ...... 30

图64：2012-2021 年公司毛/净利率情况 ..... 30

图65：2021.7-2022.07 MKS 股价走势（单位：美元） ...... 30

图66：国内重点半导体设备零部件公司估值信息（Wind 一致预期，截至2022.8.12） .. 31

图67：正帆科技研发费用及费率（单位：百万元，%） .... 31

图68：正帆科技营收结构占比 ..... 31

图69：正帆科技高纯气体供应系统 .... 32

图70：模组化气体供应系统 ...... 32

图71：2014-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ..... 32

图72：2014-2021 公司归母净利润情况（亿元，%） ..... 32

图73：2014-2021 公司毛/净利率情况 ..... 33

图74：2020.08-2022.07 正帆科技股价走势（单位：元） .... 33

图75：2021 年公司营收结构 .... 33

图76：公司研发投入变化情况（单位：万元） ..... 33

图77：公司供应商关联方占比变化情况 ...... 34

图78：公司零部件业务营收变化情况 ....... 34

图79：2014-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ..... 34

图80：2014-2021 公司归母净利润情况 ....... 34

图81：2014-2021 公司毛/净利率情况 ..... 34

图82：2020.07-2022.07 江丰电子股价走势（单位：元） ....... 34

图83：公司营收结构（2017-2021） .... 35

图84：公司研发投入变化情况 ..... 35

图85：北方华创质量流量控制器 .... 35

图86：北方华创流量显示仪 ...... 35

图87：2014-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ..... 36

图88：2014-2021 公司归母净利润情况 ....... 36

图89：2014-2021 公司毛/净利率情况 ..... 36

图90：2020.07-2022.07 北方华创股价走势（单位：元） ....... 36

图91：2021 年公司营收结构 .... 37

图92：公司发展历程.... 37

图93：公司半导体营收及占比 ..... 37

图94：半导体业务客户 ....... 37

图95：2012-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ..... 38

图96：2014-2021 公司归母净利润情况 ....... 38

图97：2014-2021 公司毛/净利率情况 ..... 38

图98：2020.07-2022.07 新莱应材股价走势（单位：元） .... 38

图99：公司研发投入变化情况 ..... 39

图100：公司海内外客户占比（单位：万元） ....... 39

图101：2015-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ....... 39

图102：2015-2021 公司归母净利润情况 .... 39

图103：2015-2021 公司毛/净利率情况 ....... 39

图104：2021.04-2022.07 华亚智能股价走势（单位：元） ..... 39

图105：公司研发投入变化情况....... 40

图106：公司海内外客户占比（单位：万元） ....... 40

图107：2016-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ....... 40

图108：2016-2021 公司归母净利润情况 .... 40

图109：2016-2021 公司毛/净利率情况 ....... 41

图110：2020.07-2022.07 神工股份股价走势（单位：元） .... 41

图111：公司发展历程 ..... 41

图112：2021 年公司营收结构...... 42

图113：半导体等电子材料业务营收及同比增长率...... 42

图114：公司研发投入变化情况....... 42

图115：公司特种电源行业相关客户 ..... 42

图116：2015-2022E 公司营收情况（2022 数据为wind 一致性预期） ....... 42

图117：2015-2021 公司归母净利润情况 .... 42

图118：2015-2021 公司毛/净利率情况 ....... 43

图119：2020.07-2022.07 英杰电气股价走势（单位：元） .... 43

图120：公司发展历程 ..... 43

图121：2021 年公司营收结构...... 44

图122：2018-2021 公司营收情况 ...... 44

图123：2018-2021 公司归母净利润情况 .... 44

图124：2018-2021 公司毛/净利率情况 ....... 44

图125：公司研发投入变化情况....... 44

表1：2021 年半导体设备公司直接材料占比 .... 7

表2：半导体设备零部件按功能分类 .... 8

表3：半导体设备零部件按适用性分类 ....... 8

表4：机械加工零部件服务的设备工艺类型及技术难点....... 9

表5：电气类零部件主要服务的设备工艺类型 ....... 10

表6：真空类零部件主要服务的设备工艺类型及技术难点 .... 11

表7：气液输送类零部件主要服务的设备工艺类型 ...... 12

表8：2021 年各样本公司毛利率及直接材料费用占营业成本比例 .... 14

表9：主要半导体设备零部件市场规模（单位：亿美元） .... 16

表10：CMP 设备零部件类别及具体内容 ..... 17

表11：2019-2021 年各零部件在CMP 设备原材料占比 .... 17

表12：通用型零部件种类及对应厂商分布 ...... 19

表13：2020 年半导体设备零部件头部厂商相关营收 ...... 19

表14：常用半导体设备零部件供应商 ....... 19

表15：国内半导体设备零部件自给率 ....... 20

表16：国外代表性厂商的布局及主要财务指标...... 20

表17：大陆代表性厂商的布局及主要财务指标 ..... 21