半导体设备零部件行业深度报告( 60 页)

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目录

半导体设备零部件是半导体行业的“基石” .... 5

零部件间接推动半导体产业迭代升级 ..... 5

半导体设备及零部件产业链 ..... 6

半导体设备零部件空间大，赛道广 .... 7

中国大陆晶圆制造厂逆势扩产 ..... 7

全球半导体设备零部件市场规模达到数百亿美元 ..... 8

半导体设备零部件赛道多，分类细 ....... 10

半导体设备零部件国产替代正当时 ...... 12

美国对华科技打压趋势不可逆转，日荷跟进限制 ....... 12

半导体设备国产化进入零部件深水区 ....... 13

投资摘要 ...... 15

风险提示 ...... 16

富创精密 ...... 17

中瓷电子 ...... 24

英杰电气 ...... 32

机器人 ...... 36

新莱应材 ...... 45

富乐德 ...... 52

图表目录

图表1. 半导体的制造流程 ...... 5

图表2. 半导体产业的五个层次 ...... 5

图表3. 半导体设备及其零部件产业链 ...... 6

图表4. 中国大陆12 英寸晶圆制造厂布局 .... 7

图表5. 中国大陆12 英寸晶圆制造厂增量预估 .... 8

图表6. 中国大陆晶圆制造产能快速提升 ...... 8

图表7. 中国大陆是全球半导体设备重要市场 ...... 8

图表8. 2022 年全球和中国大陆主要设备厂毛利率 ...... 9

图表9. 2022 年中国大陆主要设备厂直接材料占成本比例 ...... 9

图表10. 全球半导体设备零部件市场规模测算 .... 9

图表11. 中国大陆半导体设备零部件市场规模测算 .... 9

图表12. 半导体设备零部件主要类型 ...... 10

图表13. 2021 年全球半导体设备零部件细分市场占比 ...... 11

图表14. 2022 年全球半导体设备零部件细分市场规模测算 ...... 11

图表15. 美国对华科技打压脉络 ...... 12

图表16. 阿斯麦在售的ArFi DUV 光刻机型号 ...... 12

图表17. 日本外汇与外贸法相关修订法令 ...... 13

图表18. 半导体设备国产化率持续提升 ...... 13

图表19. 半导体设备零部件国产化率 ...... 14

图表20. 行业可比公司估值 ...... 15

图表21. 富创精密是中国领先的半导体设备零部件企业 ...... 18

图表22. 富创精密半导体设备零部件产品 ...... 18

图表23. 富创精密的半导体设备零部件产品在前道设备中的应用 ...... 19

图表24. 富创精密占中国大陆半导体设备零部件的市场份额提升空间较大 ...... 19

图表25. 富创精密客户集中度较高 ...... 20

图表26. 富创精密境内营业收入增长较境外更快 ...... 20

图表27. 富创精密业绩预估 ...... 21

图表28. 富创精密可比公司估值 ...... 21

图表29. 中瓷电子实控人是中电科背景 ...... 25

图表30. 中瓷电子通信和工业类陶瓷产品 ...... 25

图表31. 中瓷电子消费电子和汽车电子类陶瓷产品 ...... 25

图表32. 中瓷电子营业收入构成 ...... 26

图表33. NTK 的静电卡盘产品 ..... 26

图表34. 全球半导体静电卡盘市场规模 ...... 27

图表35. 博威公司、中电科GaN 资产、国联万众的业绩承诺 .... 28

图表36. 中瓷电子业绩预估（不考虑定增收购中电科旗下资产的情况） ...... 29

图表37. 中瓷电子可比公司估值 ...... 29

图表38. 英杰电气RHH 系列射频电源 ....... 33

图表39. 英杰电气RLS 系列射频电源 .... 33

图表40. 全球半导体射频电源市场规模 ...... 33

图表41. 2022 年全球半导体射频电源生产地区分布 ...... 33

图表42. 新松机器人历史沿革 ...... 37

图表43. 新松机器人“3+3+N”发展战略 ...... 37

图表44. 新松机器人主要控股股东 ...... 38

图表45. 新松机器人的机器人产品 ...... 38

图表46. 新松机器人的自动化产线 ...... 38

图表47. 新松机器人的半导体装备产品 ...... 39

图表48. 新松机器人业绩重回稳健增长轨道 ...... 39

图表49. 果纳半导体的EFEM 设备 .... 40

图表50. 2022~2026 年中国大陆EFEM 和真空机械手年均市场规模测算 ...... 40

图表51. 新松机器人和日本Rorze 财务数据对比 ...... 41

图表52. 新松机器人业绩预估 ...... 42

图表53. 机器人可比公司估值 ...... 42

图表54. 新莱应材历史沿革 ...... 46

图表55. 新莱应材营业收入按下游行业拆分 ...... 46

图表56. 新莱应材营业收入按下游产品拆分 ...... 46

图表57. 新莱应材半导体阀门产品 ...... 47

图表58. 全球半导体阀门市场规模 ...... 47

图表59. 瑞士VAT 是全球真空阀龙头 .... 48

图表60. 新莱应材泛半导体业务营业收入快速增长 ...... 48

图表61. 新莱应材业绩预估 ...... 49

图表62. 新莱应材可比公司估值 ...... 49

图表63. 富乐德主营业务构成 ...... 53

图表64. 富乐德主营业务收入和毛利率 ...... 54

图表65. 大尺寸面板价格持续反弹近半年 ...... 54

图表66. 小尺寸面板价格止跌横盘 ...... 54

图表67. 中国泛半导体设备清洗和增值服务市场规模 ...... 55

图表68. 中国泛半导体设备清洗服务商主要合作情况 ...... 55

图表69. 2020 年中国泛半导体设备清洗市场竞争格局 ...... 56

图表70. 全球半导体设备零部件龙头Ferrotec 是富乐德的控股股东 ..... 56

图表71. 申和投资在中国大陆有着广泛的产业链布局 ...... 57

图表72. 富乐德业绩预估 ...... 58

图表73. 富乐德可比公司估值 ...... 58