洁净室内部各系统产业链及公司梳理 ( 26 页)

伴随先进制程与存储芯片需求增长，下游半导体资本开支上行，洁净室各核心系统正迎来新一轮扩张周期。洁净室作为集成电路产业的底层基础设施，其暖通空调（HVAC）、高纯工艺及工艺废气治理三大系统各司其职，共同保障晶圆制造良率。HVAC系统是控制空气分子污染的关键，设备与耗材复购属性带来双重成长逻辑，国内美埃科技等厂商已实现核心布局；高纯工艺系统负责超纯水、特气等介质供给，正帆科技、新莱应材等国产替代进度较快；废气治理系统则与生产工艺深度耦合，技术难度高，盛剑科技已实现厂务端突破。下游集成厂商方面，亚翔集成CFD技术领先，圣晖集成深耕东南亚市场，柏诚股份聚焦内地半导体并重视二次配业务，深桑达A则布局稀缺的超纯水系统。整体看，国产洁净室产业链正从系统集成向核心设备、耗材及高端工艺环节全面延伸，但需警惕下游资本开支波动、竞争加剧毛利率下行及回款等风险。

目录

1. 洁净室是晶圆制造的基础设施，HVAC 和高纯系统是洁净室的核心系统3

1.1. AMC 影响晶圆制造的多个环节，先进制程对AMC 管控更严格 .... 3

1.2. HVAC 是管控AMC 的核心系统，高纯工艺系统为晶圆制造持续提供高纯介质 ...... 4

2. HAVC 构筑厂房环境防护壁垒，滤材/设备/系统集成各产业链进行国产替代 6

2.1. 过滤器为HVAC 净化核心载体，滤料性能与客户认证构筑行业高壁垒6

2.2. 全球 FFU‑过滤器格局分层，上游滤材、中游设备分步实现国产突破8

2.2.1. 海外龙头企业：爱美克、康菲尔、日本无机 ...... 8

2.2.2. 国内企业：再升科技、美埃科技、创元科技 ...... 9

3. 高纯介质保障晶圆良率底线，部分环节仍存在国产化短板 ..... 13

3.1. 高纯介质纯度控制严格，气/化/水多系统协同守护工艺良率 .... 13

3.2. 零件、系统集成分工明确，国内龙头企业发展第二成长曲线 ....... 17

4. 工艺废气防范二次污染风险，本土企业加速对标海外差距 ..... 21

4.1. 半导体工艺废气成分复杂，不同废气配套不同技术设备 ....... 21

4.2. 盛剑科技布局半导体废气处理设备及系统集成，下游客户优质 ....... 23

5. 投资策略 .... 24

5.1. 重点公司财务指标 ...... 24

6. 洁净室企业推荐标的 .... 24

6.1. 亚翔集成：CFD 技术领先，海外高毛利订单释放业绩弹性 ...... 24

6.2. 柏诚股份：聚焦国内半导体洁净室建设，发力高毛利二次配业务 ... 25

6.3. 圣晖集成：东南亚承建产能转移，海外业务发展较快 ....... 25

7. 风险提示 .... 26

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