高精度MEMS 陀螺仪产业分析( 20 页)

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目录

1 MEMS陀螺仪工作原理 ...... 4

1.1 用科里奥利力测量角速度 ....... 4

1.2 用MEMS实现：静电驱动、电容检测 ...... 5

2 高精度与消费级MEMS陀螺仪的主要区别 ...... 6

2.1 高精度MEMS陀螺仪的四大应用领域 ...... 7

2.2 不同精度MEMS陀螺仪的结构差异 .... 8

3 MEMS与ASIC制备、封装工艺与测试 ...... 9

3.1 MEMS工艺 ....... 10

3.2 ASIC工艺 ....... 15

3.3 封装工艺 .... 15

3.4 测试 ....... 16

4 MEMS陀螺仪产业链 ....... 16

4.1 MEMS陀螺仪产业链及相关企业...... 16

4.2 国内MEMS陀螺仪性能指标对比 ..... 18

5 风险提示 .... 19

图表目录

图表1： 科里奥利力原理 ..... 4

图表2： 典型MEMS 陀螺仪结构 .... 6

图表3： 各类别陀螺仪的主要应用领域、主要技术、代表厂商...... 6

图表4： 高性能MEMS 惯性传感器的四大应用领域 ...... 7

图表5： 陀螺技术应用现状 ....... 7

图表6： 陀螺技术应用远景 ....... 7

图表7： 单质量块陀螺仪示意图 ....... 8

图表8： 双质量块陀螺仪示意图 ....... 8

图表9： MEMS 惯性器件的发展 .... 9

图表10： 国内外相关企业先进MEMS 陀螺仪结构及零偏稳定性 ..... 9

图表7：湿法SOG 工艺 ....... 11

图表8：湿法SOG 工艺制作的MEMS 陀螺仪SEM 照片 ...... 11

图表11： 干法SOG 工艺 ..... 11

图表12： 正面体硅工艺 ..... 12

图表13： 体硅SOI 工艺 ..... 13

图表14： 表面硅工艺 ....... 14

图表15： 硅MEMS 工艺对比 ...... 14

图表16： 圆片级封装示意图 ..... 15

图表17： 3D 集成示意图 .... 16

图表18： MEMS 陀螺仪产业链 .... 18

图表19： 国内MEMS 陀螺仪相关企业及典型产品性能 .... 19