1.1. CMP 环节,全局纳米级平坦化之关键..... 5
1.2. 制程&工艺不断进步,CMP 设备需求不断上升 ...... 6
2.1. 定位高端半导体设备制造商,股权结构稳定&下游客户优质 .... 9
2.2. 公司技术水平优异,产品范围覆盖半导体制造多个环节。 ..... 11
2.3. 公司营收连续实现高增 ....... 14
2.4. CMP 设备技术水平优异,或持续受益于国产替代 ....... 16
3.3.1. CMP 设备相关耗材及维保服务 ..... 23
3.3.2. 晶圆再生业务 ..... 24
3.3.3. 公司其他业务 ..... 26
图1:CMP 工艺在半导体制造中的作用 ...... 5
图2:CMP 抛光模块示意图 .... 5
图3:CMP 抛光作业原理图 .... 5
图4:CMP 抛光去除速率对比 ....... 5
图5:半导体行业中 CMP 的应用领域 ....... 5
图6:2020 年全球 CMP 设备市场区域结构 ....... 6
图7:2013-2020 中国大陆CMP 市场空间变化(单位:亿美元) ...... 6
图8:2019 年全球CMP 设备市场竞争格局 ...... 6
图9:逻辑芯片&存储芯片技术趋势 ..... 7
图10:CMP 抛光步骤随逻辑芯片技术进步增加(单位:次) .... 7
图11:CMP 抛光步骤随存储芯片技术进步增加(单位:次) .... 7
图12:先进封装工艺流程 .... 8
图13:公司发展历程...... 9
图14:公司股权结构稳定(仅列出股权占比大于等于5%的股东) .... 9
图15:公司下游领先集成电路制造客户 ...... 10
图16:2019-2021 三大优质客户销售情况(单位:百万元) ..... 10
图17:2017-2023Q1 公司营收 .... 14
图18:2017-2023Q1 公司归母净利润 ...... 14
图19:公司毛利率&净利率总体实现增长 ....... 14
图20:2017-22 公司分产品营收 ..... 14
图21:2017-22 公司分产品毛利率 .... 14
图22:公司期间费用持续降低 ..... 15
图23:公司预收款项持续增长 ..... 15
图24:2018-2023 Q1 公司经营现金流及期末现金及等价物 ....... 16
图25:2018-2023 Q1 公司ROE-摊薄及ROA-平均 .... 16
图26:公司已获批的知识产权一览(截止至2022 年报)(单位:个) ...... 17
图27:公司研发人员学历结构(截止至2022 年报)(单位:个) ....... 17
图28:背面减薄工序示意图 ...... 18
图29:晶圆减薄后可以实现新的封装方法 ...... 18
图30:2018-2022 全球减薄机市场空间(单位:亿美元) ...... 18
图31:减薄机市场被Disco、东京精密所垄断 ...... 19
图32:下游应用中以300mm 晶圆为主 .... 19
图33:Chiplet 助力服务器算力提升&性能优化 ....... 19
图34:全球先进封装市场规模(单位:亿美元) .... 20
图35:IC 制造工序 .... 21
图36:离子注入机结构 ....... 21
图37:离子源结构拆分 ....... 21
图38:市场竞争格局(按品牌分) .... 22
图39:市场竞争格局(按类别分) .... 22
图40:公司经营耗材展示 ...... 23
图41:再生业务主要针对挡片和控片 ....... 24
图42:晶圆再生竞争格局高度集中 .... 24
图43:2021-2022 中国大陆地区 12 英寸晶圆厂产能(万片/月)..... 25
图44:2017-2026 中国大陆地区 12 英寸增量预测(座) .... 25
图45:工艺的不断提升将持续增加清洗步骤(单位:次数) ..... 26
图46:半导体检测与量测技术 ..... 27
表1:CMP 国内市场空间测算 .... 8
表2:2023-2025 公司员工激励情况一览 .... 10
表3:公司CMP 设备型号一览 ..... 11
表4:公司减薄设备一览 ..... 12
表5:公司其他设备一览 ..... 13
表6:公司CMP 设备应用情况 .... 16
表7:公司CMP 产品关键技术及水平评价 ...... 16
表8:公司在14 纳米以上制程中具备国产替代能力 ....... 16
表9:公司CMP 在研项目对标国际先进水平 ..... 17
表10:中国大陆减薄机市场空间 .... 20
表11:公司在研减薄项目对标国际先进水平 ..... 20
表12:公司超精密减薄核心技术 .... 21
表13:中国大陆2023-2026 年离子注入设备市场空间 ...... 22
表14:公司在零部件板块的在研项目瞄准国际先进水平(截至2022 年底) ...... 25
表15:公司在研清洗项目对标国际先进水平(截至2022 年底) ..... 26
表16:公司在湿法清洗方面具备的核心技术 ..... 26
表17:公司在纳米精度膜厚在线检测方面具备的核心技术 ..... 27
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