电子气体深度报告( 58 页)

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目录

1. 电子气体是半导体制造的“血液” ............. 7

1.1. 集成电路是电子气体主要应用领域 ....... 7

1.2. 电子气体是电子制造的“血液” ...... 9

1.2.1. 刻蚀电子气体 ............. 11

1.2.2. 化学沉积气体 ............. 12

1.2.3. 离子注入气体 ............. 12

1.2.4. 外延沉积气体 ............. 13

1.2.5. 光刻镭射气体 ............. 13

1.2.6. 惰性保护气体 ............. 14

2. 半导体材料市场空间广泛.............15

2.1. 中国半导体材料市场稳步增长 ............. 15

2.2. 电子气体是半导体制造材料的第二大耗材 ........... 16

2.3. 政策引导，半导体材料将重点发展 ..... 17

2.4. 中国电子气体市场空间巨大 ........ 18

2.4.1. 中国大陆晶圆厂产能持续扩张 ............ 18

2.4.2. 产能扩张推动气体市场规模增长 ........ 20

3. 电子气体制备壁垒高...........21

3.1. 技术壁垒 ............ 21

3.1.1. 气体纯度壁垒 ............. 21

3.1.2. 气体精度壁垒 ............. 22

3.2. 黏性壁垒 ............ 22

3.3. 资质壁垒 ............ 22

4. 电子气体国产替代势在必行.........23

4.1. 国内企业奋起直追 ...... 23

4.2. 欧美企业寡头垄断 ...... 24

4.2.1. 美国空气化工产品 ..... 24

4.2.2. 林德集团 ............ 26

4.2.3. 法国液空集团 ............. 27

4.3. 日本电子特气..... 28

4.3.1. 昭和电工 ............ 28

4.3.2. 太阳日酸 ............ 30

4.3.3. 关东电化工 ........ 32

4.3.4. 艾迪科 ....... 33

4.4. 中国电子特气公司 ...... 35

4.4.1. 中航重工（718 所） ........... 37

4.4.2. 昊华科技 ............ 37

4.4.3. 华特气体 ............ 40

4.4.4. 雅克科技 ............ 44

4.4.5. 南大光电 ............ 47

4.4.6. 金宏气体 ............ 49

4.4.7. 巨化股份 ............ 52

4.4.8. 凯美特气 ............ 53

4.4.9. 三孚股份 ............ 54

4.4.10. 和远气体 .......... 56

A 股相关电子气体上市公司.............58

图表目录

图 1：2018 年中国特种气体下游细分领域占比 ........... 8

图 2：2017 年中国高纯电子气体下游细分领域占比 ............ 8

图 3：特种气体分类 ........... 8

图 4：各种电子气体在半导体制造种的作用 ..... 11

图 5：刻蚀气体的在刻蚀中的作用 ............ 11

图 6：化学沉积气体的反应过程。 ............ 12

图 7：离子注入气体的反应过程。 ............ 12

图 8：外延气体的反应过程。 ........... 13

图 9：光刻气体反应过程 .......... 14

图 10：氮气作为清洗气体和保护气体 ...... 14

图 11：全球半导体材料销售额及增速（单位：十亿美元） ....... 15

图 12：各个国家和地区历年半导体材料销售额（单位：十亿美元） ......... 15

图 13：2018 年各个国家和地区的销售占比 ...... 15

图 14：半导体材料销售额和中国大陆占比(单位:十亿美元) ....... 15

图 15：2018 年半导体材料消耗占比 ......... 16

图 16：2018 年半导体制造和封装材料占比 ...... 16

图 17：2018 年全球半导体前道各材料市场比重 ....... 16

图 18：全球半导体前道材料市场预测 ...... 16

图 19：2010~2024 年全球晶圆厂产能增加量（单位：百万片/年，等效8 寸晶圆） ........... 18

图 20：2010-2020 中国半导体晶圆厂投资额（单位：亿美元） ......... 18

图 21：国家大基金一期投资比例 ..... 18

图 22：集成电路用电子特体市场规模 ...... 20

图 23：中国电子气体市场规模和增速 ...... 20

图 34：气体合成流程 ....... 21

图 25：气体混配流程 ....... 21

图 26：中国大陆电子气体市场占比 .......... 23

图 27：公司营收持续增长 ........ 25

图 28：公司净利润情况 ............ 25

图 29：法国液空集团销售毛利率及净利率情况 ........ 26

图 30：公司营收持续增长 ........ 27

图 31：公司净利润情况 ............ 27

图 32：法国液空集团销售毛利率及净利率情况 ........ 28

图 33：公司营收持续增长 ........ 29

图 34：公司净利润情况 ............ 29

图 35：昭和电工销售毛利率及净利率情况 ....... 30

图 36：日本太阳日酸110 年发展历史 ...... 30

图 37：公司营收持续增长 ........ 31

图 38：公司净利润情况 ............ 31

图 39：日本太阳日酸销售毛利率及净利率情况 ........ 32

图 40：公司营收持续增长 ........ 33

图 41：公司净利润情况 ............ 33

图 42：关东电化工销售毛利率及净利率情况 ............ 33

图 43：公司营收持续增长 ........ 34

图 44：公司净利润情况 ............ 34

图 45：ADEKA 销售毛利率及净利率情况 ........ 35

图 46：2019-2021 年全球NF3 市场供需结构 ............. 36

图 47：黎明院营业收入、毛利率、净利率情况 ........ 40

图 48：黎明院板块构成收入占比 ..... 40

图 49：光明院营业收入、毛利率、净利率情况 ........ 40

图 50：光明院板块构成收入占比 ..... 40

图 51：公司营收持续增长 ........ 40

图 52：公司净利润情况 ............ 40

图 53：公司营收持续增长 ........ 44

图 54：公司净利润情况 ............ 44

图 55：公司主营业务构成 ........ 44

图 56：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 44

图 57：科美特历史营收和净利润情况（亿元） ........ 45

图 58：六氟化硫、四氟化碳、三氟化氮单价（万元/吨） ......... 45

图 59：公司营收持续增长 ........ 47

图 60：公司净利润情况 ............ 47

图 61：公司主营业务构成 ........ 47

图 62：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 47

图 63：公司营收持续增长 ........ 49

图 64：公司净利润情况 ............ 49

图 65：公司主营业务构成 ........ 49

图 65：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 49

图 66：公司营收持续增长 ........ 51

图 67：公司净利润情况 ............ 51

图 68：公司主营业务构成 ........ 51

图 69：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 51

图 70：公司营收持续增长 ........ 53

图 71：公司净利润情况 ............ 53

图 72：公司主营业务构成 ........ 53

图 73：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 53

图 74：公司营收持续增长 ........ 54

图 75：公司净利润情况 ............ 54

图 76：公司主营业务构成 ........ 54

图 77：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 54

图 78：公司营收持续增长 ........ 56

图 79：公司净利润情况 ............ 56

图 80：公司主营业务构成 ........ 56

图 81：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 56

图 82：公司营收持续增长 ........ 57

图 83：公司净利润情况 ............ 57

图 84：公司主营业务构成 ........ 57

图 85：公司销售毛利率与净利率情况 ...... 57

表1：电子气体分类 ............ 7

表2：电子特种气体及电子大宗气体占比 ............ 7

表3：集成电路线宽与电子气体纯度 ........... 9

表4：不同气体在半导体制造中的作用 ..... 10

表5：2019 年部分地区相关布局 ....... 17

表6：中国地区新增晶圆厂情况 ........ 19

表7：光刻气体种类 .......... 22

表8：中国电子气体代表产品 ............ 24

表9：美国空气化工产品气体种类及应用领域 ........... 25

表10：林德集团气体种类及应用领域 ....... 26

表11：法国液空电子材料种类及应用领域 ........ 27

表12：昭和电工半导体材料种类及应用领域 ............. 29

表13：日本太阳日酸气体种类及应用领域 ........ 31

表14：关东化工气体种类及应用领域 ....... 32

表15：艾迪科半导体材料种类及应用领域 ........ 34

表16：中航重工（718 所）气体种类及应用领域 ...... 37

表17：昊华科技电子特气产能及应用领域 ........ 39

表18：昊华科技电子特气对应的收入 ....... 39

表19：华特气体电子气体情况 .......... 41

表20：华特气体产品实现进口替代的具体过程和表现 ...... 42

表21：华特气体光刻气体销售情况 ........... 42

表22：华特气体下游客户及在手订单销售情况 ......... 43

表23：华特气体特种气体销售情况 ........... 43

表24：科美特营收收入、成本预测 ........... 46

表25：科美特营收收入、成本预测 ........... 46

表26：公司的特气种类及产能情况 ........... 48

表27：飞源气体产品客户进展 .......... 48

表28：电子特种气体与电子大宗气体在不同应用领域占比 ....... 50

表29：金宏气体特气收入主要来源 ........... 50

表30：公司的储备、在研产品/技术情况 ........... 51

表31：巨化股份（中巨芯）电子气体情况 ........ 52

表32：凯美特气电子气体情况 .......... 54

表33：三孚股份电子气体情况 .......... 56

表34：和远气体特种气体产品构成情况 ............ 57