1.2.1、湿电子化学品位于电子信息产业链的前端.......7
1.2.2、高技术壁垒赋予湿电子化学品较高的附加值...........9
1.2.3、湿电子化学品盈利差异体现在产品等级不同......... 11
2.1.1、湿电子化学品在晶圆加工中充当清洗和蚀刻功效.........12
2.1.2、2020 年国内半导体用湿电子化学品需求量45 万吨......16
2.2.1、湿电子化学品用于面板制造的显影、蚀刻、清洗等工序.....20
2.2.2、2020 年国内平板显示用湿电子化学品需求量69 万吨..........22
2.1.1、湿电子化学品用于太阳能电池片的制绒、清洗、蚀刻工序.........25
2.1.2、2020 年国内太阳能电池用湿电子化学品需求量41 万吨......28
3.1.1、全球湿电子化学品的发展与集成电路产业密切相关.....30
3.1.2、老牌厂商以多元化集团为主,新进者多为专业生产商.........32
3.2.1、我国湿电子化学品行业起步较晚,高等级产品国产化率较低.....34
3.2.2、政策加码,资金助力,湿电子化学品迎发展契机.........36
图 1: 湿电子化学品是化学试剂中对纯度要求最高的领域........5
图2: 湿电子化学品上游为基础化工原料,下游为电子信息行业....7
图3: “江化微-中电熊猫-默克电子”闭环交易模式实现剥离液循环利用..........8
图4: 湿电子化学品公司的成本构成具有料重工轻的特点........9
图5: 2015 年以来主要原材料价格有所波动.......9
图6: 江化微超净高纯硝酸售价显著高于原材料进价......10
图7: 江化微超净高纯双氧水售价显著高于原材料进价..........10
图8: 江化微混酸产品毛利率高于单酸.....10
图9: 润玛股份混酸产品毛利率高于单酸.........10
图10: 湿电子化学品的纯化需要相配套的分析检测技术........ 11
图11: 混配工艺是对纯化成品进行精密混配.... 11
图12: 半导体领域对湿电化学品的技术要求较高,毛利率也较高 ........ 12
图13: 湿电子化学品伴随集成电路的整个制作过程 ........ 13
图14: 颗粒等杂质以吸附的方式存在于硅片表面或氧化膜中 ........ 13
图15: 光刻和蚀刻精细线路图形加工的关键工序 .... 14
图16: 槽式的晶圆蚀刻一次性能处理多片晶圆 ........ 16
图17: 2015-2019 年国内IC 制造业复合增速约24% ....... 16
图19: 2020 年国内半导体行业湿电子化学品需求量有望达45 万吨 ..... 19
图20: TFT 是LCD 和AMOLED 中的重要部件 ...... 20
图21: LCD 与OLED 的前段Array 工序相似........... 20
图22: TFT-LCD 的光刻技术实现图形转移、电极制作 ........... 21
图23: 全球液晶面板出货量基本稳定 ....... 23
图24: 大尺寸液晶面板出货面积呈增长趋势.... 23
图25: 中国大陆LCD 面板市占率逐步提升...... 23
图26: 全球智能手机OLED 面板渗透率不断提升 ........... 23
图27: LCD 面板制造中剥离液、Al 蚀刻液用量占比最高 ...... 25
图28: OLED 面板制造中剥离液、显影液用量占比最高 ........ 25
图29: 2020 年国内平板显示行业湿电子化学品需求量有望达69 万吨 ......... 25
图30: 晶体硅太阳能电池片结构示意图 ........... 26
图31: 湿电子化学品用于太阳能电池片制造的制绒、清洗、蚀刻过程 ........ 26
图32: 制绒是通过化学腐蚀在硅片表面形成绒面结构 .... 27
图33: 全球光伏装机持续增长 ........... 28
图34: 2018 年“531 政策”后中国光伏装机有所下滑 ........ 28
图35: 国内太阳能电池片产量持续增长 ........... 28
图36: 全球单晶渗透率持续提升 ....... 28
图37: 2018 年太阳能电池片制造中氢氟酸、硝酸、氢氧化钾用量占比最高 ....... 29
图38: 2020 年国内光伏行业湿电子化学品需求量有望达41 万吨 ......... 30
图39: 全球湿电子化学品产业发展路径与集成电路产业相似 ........ 31
图40: 欧美、日本企业所占湿电子化学品份额逐年降低 ........ 32
图41: 2006 年起我国湿电子化学品进入规模化发展阶段 ....... 35
图42: 我国湿电子化学品产能主要集中于华东及沿海地区 .... 35
图43: 2018 年大尺寸晶圆、高世代面板所用的湿电子化学品国产化率仍较低 ........... 36
图44: 政策推动下,中芯国际积极推进国产材料的验证 ........ 37
图45: 2019 年江化微营收同比增长28% .......... 39
图46: 2019 年江化微归母净利润同比减少14% ...... 39
图47: 2019 年晶瑞股份营收同比减少7% ........ 40
图48: 2019 年晶瑞股份归母净利润同比减少38% .......... 40
图49: 巨化股份、大基金各持有中巨芯39%的股份 ....... 41
表1: 湿电子化学品分为通用性和功能性湿电子化学品 .... 6
表2: 高等级湿电子化学品对纯度的要求达到ppt 级别..... 6
表3: 湿电子化学品对包装材料性能要求高........ 8
表4: 摩尔定律下湿电子化学品不断更新换代.......... 11
表5: 不同种类的湿电子化学品用于清洗不同类型的沾污 ...... 14
表6: 光刻用湿电子化学品包括表面处理剂、显影剂、去胶剂等 .......... 15
表7: 根据被蚀刻物不同使用不同种类的湿电子化学品 .......... 15
表8: 2019-2020 年中国大陆多个大尺寸晶圆厂投产 ....... 17
表9: 12 英寸晶圆加工的湿电子化学品单位消耗量是8 英寸晶圆的4.6 倍 .......... 17
表10: 2018 年6 英寸及以上晶圆加工用湿化学品需求总量为28.27 万吨 .... 18
表11: 国内少数企业的部分产品达到G4 等级以上 ......... 19
表12: 平板显示用湿电子化学品包括显影液、蚀刻液、剥离液等 ........ 22
表13: 2017 年-2022 年中国大陆面板产能及投产计划 .... 23
表14: OLED 面板制造的湿电子化学品单位消耗量是LCD 面板的7.3 倍 ........... 24
表15: 针对不同硅片类型有两种不同化学液体系的制绒工艺 ........ 27
表16: 太阳能电池片清洗用湿电子化学品........ 27
表17: 单多晶电池片用湿电子化学品有所不同 ........ 29
表18: 欧美企业多为大型化工集团,韩台企业以专业生产商为主 ........ 32
表19: 国家政策鼓励湿电子化学品及下游产业发展 ........ 37
表20: 大基金一期投资的9 家半导体材料企业中有3 家从事湿电子化学品 ........ 38
表21: 江化微的湿电子化学品广泛应用于三大领域 ........ 39
表22: 江化微现有产能5.5 万吨,计划2010 年底扩至20.8 万吨 .......... 39
表23: 晶瑞股份的湿电子化学品向国内主流半导体企业供货或通过认证 .... 40
表24: 晶瑞股份拥有多个湿电子化学品在建及规划产能 ........ 41
表25: 凯圣氟化学拥有一系列技改及扩产计划 ........ 42
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