1.1 电子气体:现代工业的原料基石 .... 3
1.2 电子气体的三种分类方式 ..... 3
1.3 电子特气在集成电路中的应用解析 .... 7
1.4 从电子气体的生产流程看技术壁垒 ...... 12
1.5 电子气体的四种供应模式 ....... 15
1.6 电子气体壁垒总结 ....... 17
2.1 市场规模:全球放缓,需求东扩 ...... 19
2.2 竞争格局:外资垄断,国产崛起 ...... 21
3.1 林德集团:领先全球的电子气体供应商 ...... 24
3.2 液化空气:持续收购扩大市场,丰富产品线 ...... 26
3.3 空气化工:通过技术创新开拓市场 ...... 28
3.4 海外龙头解析:探寻气体龙头崛起之路 ...... 30
4.1 国内特气市场寡头垄断明显,替代空间可观 ...... 33
4.2 国产替代势在必行,亟需实现自主创新 ...... 33
图1: 电子气体产业链上下游 ....... 3
图2: 电子特种气体是晶圆制造关键性材料 ...... 7
图3: 各种电子气体在晶圆制造中的作用及过滤控制...... 8
图4: 刻蚀工艺中电子气体的使用流程....... 9
图5: 不同类型的刻蚀反应 ....... 9
图6: 扩散掺杂工艺 ...... 10
图7: 离子注入机之磁分析器结构简图..... 10
图8: 掺杂的过程 ...... 10
图9: 化学气相沉积工艺中电子气体的使用流程 .... 11
图10: 光刻工艺中电子气体的使用流程 ...... 11
图11: 特种气体的工艺流程图 ....... 12
图12: 特种气体合成工艺 ....... 13
图13: 特种气体混配工艺 ....... 14
图14: 特种气体充装工艺 ....... 14
图15: 特种气体检测工艺 ....... 15
图16: 电子气体行业供应模式与流程 ...... 15
图17: 瓶装供气 .... 16
图18: 液态(储槽)供气 ....... 16
图19: 现场供气 .... 17
图20: 管道供气 .... 17
图21: 2017-2024E 全球电子特气市场规模预测(亿美元) ..... 19
图22: 2017-2024E 中国电子特气市场规模预测(亿元) ..... 19
图23: 2021 年中国电子特气下游应用 .... 20
图24: 2020 年半导体制造产业的材料市场占比 ....... 20
图25: 2017-2025 年中国电子大宗气体市场规模预测(亿元) ....... 21
图26: 2017-2022 年中国外包供气市场占比预测(%) .... 21
图27: 2020 年全球电子气体竞争格局 .... 22
图28: 2020 年中国电子特气竞争格局 .... 22
图29: 半导体材料国产化进程 ....... 23
图30: 林德集团发展历程 ....... 24
图31: 林德集团电子领域主要产品 ...... 25
图34: 2021 年林德集团区域营收占比 .... 26
图35: 2021 年林德集团下游营收结构占比分布 ....... 26
图36: 液化空气发展历程 ....... 26
图37: 液化空气电子领域主要产品 ...... 27
图38: 2017-2022H1 液化空气营收净利(亿欧元) ...... 27
图39: 2017-2021 年液化空气毛利率和净利率 .... 27
图40: 2021 年液化空气区域营收占比 .... 28
图41: 2021 年液化空气在亚太地区下游营收分布占比 ....... 28
图42: 空气化工发展历程 ....... 28
图43: 空气化工电子领域业务概况 ...... 29
图44: 2018-2022 财年空气化工营收净利(亿美元) .... 29
图45: 2018-2022 财年空气化工毛利率和净利率 .... 29
图46: 2021 年空气化工分区域部门营收占比 ....... 30
图47: 2021 年空气化工主营构成-产品占比 ...... 30
图48: 工业龙头的发展路径 ....... 31
图49: 空气化工的产品应用和技术 ...... 31
图50: 林德集团的收购历程 ....... 32
图51: 2017-2023 年中国电子特气市场规模及增速(亿元) ....... 33
图52: 华特气体发展历程图 ....... 36
图53: 2017-2022Q3 华特气体业绩情况(亿元) ...... 37
图54: 2019-2021 年华特气体特气营收毛利率(亿元) ....... 37
图55: 2019-2021 年华特气体不同业务营收(亿元) .... 38
图56: 2019-2022H1 华特气体不同业务毛利率 ....... 38
图57: 凯美特气发展历程图 ....... 40
图58: 2017-2022Q3 凯美特气业绩情况(亿元) ...... 41
图59: 2018-2022H1 凯美特气分产品收入结构(亿元) ...... 41
图60: 2018-2021 年凯美特气液体二氧化碳业务营收、毛利率(亿元) ...... 41
图61: 2019-2022Q3 南大光电业绩情况(亿元) ...... 43
图62: 2019-2022H1 南大光电特气业务经营情况(亿元) ...... 43
图63: 2017-2022H1 南大光电分业务营收(亿元) ...... 43
图64: 2020-2022H1 南大光电分业务毛利率 ....... 43
图65: 2017-2022Q3 雅克科技业绩情况(亿元) ...... 45
图66: 2018-2022H1 雅克科技电子特气产品营收(亿元) ...... 45
图67: 2019-2022H1 派瑞特气业绩情况(亿元) ...... 47
图68: 2019-2022H1 派瑞特气业务营收情况(亿元) ...... 47
图69: 2019-2022H1 特气业务营收毛利率(亿元) ...... 48
图70: 2019-2022H1 派瑞特气收入结构占比 ....... 48
图71: 2018-2022Q3 金宏气体业绩情况(亿元) ...... 49
图72: 2018-2021 金宏气体特气营收毛利率(亿元) .... 49
图73: 2017-2021 年金宏气体不同产品营收(亿元) .... 50
图74: 2017-2021 年金宏气体不同业务毛利率 .... 50
图75: 上海新微项目 ....... 52
图76: 浙江创芯项目 ....... 52
表1: 不同用途电子气的分类 ....... 4
表2: 常见的电子特种气体应用场景 ....... 4
表3: 常见的电子大宗气体应用场景 ....... 5
表4: 不同应用领域电子气体的分类 ....... 5
表5: 电子气体在下游领域的成本占比情况 ...... 6
表6: 不同气体组分电子气体的分类 ....... 6
表7: 常见的电子特种气体 ..... 13
表8: 电子气体纯度要求...... 18
表9: 全球市场规模排名前十的电子特种气体 .... 20
表10: 国内企业及细分气体替代情况 ...... 22
表11: 中国特种气体企业主要产品及营收情况 ...... 34
表12: 电子特种气体行业重点关注个股 ...... 35
表13: 华特气体主营业务及产品 ....... 37
表14: 华特气体盈利预测与财务指标 ...... 39
表15: 凯美特气主要产品及应用 ....... 40
表16: 南大光电主营业务及产品 ....... 42
表17: 南大光电电子特气营收情况和产能情况 ...... 44
表18: 雅克科技主营业务及产品 ....... 44
表19: 雅克科技电子特气主要产品产能情况 ...... 46
表20: 雅克科技盈利预测与财务指标 ...... 46
表21: 派瑞特气气体分类及用途 ....... 46
表22: 金宏气体主营业务及产品 ....... 48
表 23: 金宏气体盈利预测与财务指标 ...... 51
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