集成电路设备行业深度报告( 20 页)

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目录

1.分类：刻蚀、薄膜沉积、光刻、清洗是四大主要设备 ....... 1

2. 总需求：区域投资强劲和新型工艺驱动，需求逐年增加 .... 2

2.1 历史周期：全球晶圆厂持续扩张，对设备需求持续加大 ..... 2

2.2 区域：国内为主，投资强劲，对集成电路设备需求更为强烈 ..... 3

2.3 多层堆栈技术提升对设备数量的需求 ..... 4

2.4 器件结构的复杂化提升对设备数量的需求 ..... 4

2.5 新能源汽车快速发展提升对设备数量的需求 ....... 5

3.总供给：集成电路设备高度垄断，成熟工艺和先进工艺均供不应求 ....... 6

3.1集成电路设备产能集中在欧美地区，疫情加剧产能不足 ..... 6

3.2高端设备：构筑核心壁垒，国内晶圆厂采购受限 ....... 7

3.3成熟工艺设备：国外生产意愿不强，国产设备存在替代空间...... 7

4.国产化率上升空间大，国产替代利好国内设备商，优选：清洗设备商>刻蚀设备商>薄膜设备商 ....... 8

4.1 全球设备商竞争格局 ....... 8

4.2 国产清洗设备率先取得突破 ..... 9

4.3刻蚀设备价值量最高，国产设备在成熟工艺取得突破 ...... 10

4.4 薄膜沉积设备，国内公司在特殊工艺领域与国际巨头差距较小 ...... 11

4.5光刻设备技术壁垒较高，国内公司仍需不断积累 ...... 13

5．布局建议、经营策略及风险提示 ...... 15

图目录

图1：集成电路产业链..... 1

图2：集成电路制造流程及对应设备 ....... 1

图3：刻蚀，薄膜沉积，光刻与清洗设备是主要设备 ..... 2

图4：全球半导体圆晶厂商资本开支 ....... 3

图5：全球及大陆半导体设备销售额 ....... 3

图6：2020年中国大陆首次成为全球最大的半导体设备市场 ..... 3

图7：2021及2022新建圆晶厂数量 ..... 4

图8：索尼图像传感多层堆栈技术 .... 4

图9：长江存储3D NAND多层堆栈技术 ...... 4

图10：不同晶体管结构图 ..... 5

图11：逻辑器件各制程刻蚀工艺步骤数 .... 5

图12：2018-2025年全球新能源汽车销量和预测 ...... 6

图13：2012-2022年中国每辆汽车搭载芯片数量 ...... 6

图14：国际设备商设备交付周期 ...... 6

图15：不同工艺设备国产化率 ....... 7

图16：晶圆尺寸进化路线 ..... 8

图17：各领域不同设备公司市场份额 ..... 9

图18：全球清洗设备行业厂商市占率 ...... 10

图19：过去5年长江存储清洗设备中标情况 ....... 10

图20：全球干法刻蚀设备市场格局 ....... 11

图21：长江存储2017-2021年设备招标刻蚀设备各厂商中标项目数量 ...... 11

图22：长江存储2017-2021年设备招标薄膜沉积设备各厂商中标项目数量合计....... 12

图23：全球CVD设备市场规模 ...... 13

图24：2019全球CVD设备市场竞争格局 ..... 13

图25：全球PVD设备市场规模 ...... 13

图26：2019全球PVD设备市场竞争格局 ...... 13

图27：全球光刻机年度销量，2021-2025年预测 ....... 14

图28：2020年全球光刻机产品结构（按销量计） .... 14

图29：2020年全球光刻机产品结构（按营销额计） ....... 14

图30：EUV光刻机的特点 ..... 15

表目录

表 1 ：半导体设备年国产化率..... 9

附录

附录 1 专业词汇释义 ...... 15