半导体行业研究报告( 143 页)

    2022-09-19

半导体行业研究报告( 143 页)


目录

1. 半导体材料:半导体制造工艺基石,国产替代加速 ....... 13

1.1. 半导体材料是半导体制造工艺的核心基础 ...... 13

1.2. 半导体材料发展现状:海外主导,国产需加强研发 ....... 15

1.3. 国产替代加速,材料量价齐升 ..... 17

1.3.1. 驱动因素1:上游涨价+供应短缺,半导体材料价格增长 .... 17

1.3.2. 驱动因素2:下游扩产,半导体材料市场空间广阔 .... 19

1.3.3. 驱动因素3:政策加码,国产替代进程加速 ...... 20

2. 硅片:半导体行业蓬勃发展,硅片量产空间广阔 .... 22

2.1. 硅片:基础材料附着行业支撑属性,晶圆制造材料产业核心 ..... 22

2.2. 硅片产业链:下游需求高企,开辟硅片行业新一轮增长曲线 ..... 24

2.2.1. 200mm 半导体硅片:新能源汽车助推功率器件增长,硅片受益面持续扩大...... 24

2.2.2. 300mm 半导体硅片:存储芯片终端应用重点集中于移动端,智能手机行业升级将推动硅片发展 .... 25

2.2.3. SOI 硅片:智能手机带动需求上升,沪硅定增项目将填补国内300mmSOI技术空白 ....... 27

2.3. 市场规模&竞争格局 .... 27

2.3.1. 半导体硅片景气度提升,全球300mm 半导体硅片或将持续供不应求 ....... 27

2.3.2. 竞争格局:全球市场步入寡头垄断格局,沪硅在国内份额领先 .... 30

2.4. 相关公司 ...... 31

2.4.1. 沪硅产业:国内半导体硅片产业航母,开启高端SOI 蓝海共筑核心优势 . 31

2.4.2. 立昂微:核心赛道优质龙头,“三轮驱动”公司成长....... 35

2.4.3. TCL 中环:双拳出击,重塑全球硅片格局 ....... 37

3. 特种气体:政策利好需求升级,行业发展势头强劲 ....... 40

3.1. 电子特气:占比最大的特种气体,半导体制造不可或缺的原材料 ....... 40

3.2. 市场规模&竞争格局:政策驱动快速增长,发达国家龙头企业垄断,国产特气细分领域优势明显 ...... 41

3.3. 相关公司 ...... 44

3.3.1. 华特气体:工业气体国产龙头,主营业务增长稳定 ....... 44

3.3.2. 南大光电:电子特气领先企业,三大业务板块协同发展 ...... 46

3.3.3. 正帆科技:工艺介质系统先行者,装备+材料+服务打造核心竞争力 ..... 48

3.3.4. 金宏气体:国内民营气体龙头,纵横发展未来可期 ....... 51

3.3.5. 凯美特气:重点发展电子特气业务,积极推进ASML 认证 ..... 53

3.3.6. 和远气体:工业气体领先企业,积极开拓电子特气 ....... 55

4. 光刻胶:半导体材料皇冠上的明珠,高壁垒高盈利 ....... 57

4.1. 光刻胶:泛半导体产业核心材料,半导体材料皇冠上的明珠 ..... 57

4.2. 光刻工艺:半导体摩尔定律发展核心驱动力 ..... 59

4.3. 光刻胶产业链:技术&客户壁垒高,行业持续高盈利能力 ...... 62

4.4. 光刻胶市场规模&竞争格局....... 63

4.5. 相关公司 ...... 65

4.5.1. 华懋科技:投资半导体光刻胶龙头徐州博康,产业链一体化优势显著 ...... 65

4.5.2. 彤程新材:收购北京科华+北旭电子,打造半导体&FPD 光刻胶平台 ..... 68

4.5.3. 晶瑞电材:中端光刻胶进口替代创造成长空间 .... 70

4.5.4. 飞凯材料:紫外固化和电子化学品龙头,TFT-LCD 光刻胶产能待释放 ...... 72

5. 光掩膜:设备&技术高门槛,美日厂商占据主流 .... 73

5.1. 光掩膜:高技术门槛的冷门赛道 .... 73

5.2. 光掩膜市场规模&竞争格局:美日为主导,国内产品与国外差距逐步缩小 ...... 76

5.3. 相关公司 ...... 79

5.3.1. 清溢光电:规模最大国产光掩膜供应商之一,客户拓展实现突破 ....... 79

6. CMP 材料:抛光液&抛光垫是核心 ..... 81

6.1. CMP 工艺:IC 制造关键技术,抛光液与抛光垫为核心耗材 .... 81

6.2. CMP 抛光液:配方成分复杂+种类繁多,美日企业主导 ....... 83

6.2.1. CMP 抛光液工艺:配方成分复杂+种类繁多,研磨粒子成本占比高 .... 83

6.2.2. 全球CMP 抛光液市场:卡博特微电子等美日企业主导 .... 85

6.3. CMP 抛光垫:专利壁垒突出,海外企业占据垄断地位 ...... 86

6.3.1. CMP 抛光垫工艺:突破技术壁垒,加速进口替代.... 86

6.3.2. 全球CMP 抛光垫市场:陶氏杜邦占据垄断地位 ...... 89

6.4. 相关公司 ...... 89

6.4.1. 鼎龙股份:国产CMP 抛光垫核心供应商,泛半导体材料业务迎来放量 .... 89

6.4.2. 安集科技:国产CMP 抛光液龙头,产品品类逐步拓展 .... 93

7. 湿电子化学品:纯度&洁净度要求高,欧美占据大份额,国产规模持续上涨 ...... 98

7.1. 湿电子化学品:广泛应用于“半导体+光伏+平板显示器”市场 ...... 98

7.2. 市场规模:中国湿电子化学品产需规模持续上涨 ..... 100

7.3. 竞争格局:欧美企业占据大份额,国产替代市场广阔 ....... 101

7.4. 相关公司 ....... 103

7.4.1. 上海新阳:湿电子化学品产业龙头,多项产品不断突破,定增加码光刻胶....... 103

7.4.2. 中巨芯:电子化学材料龙头,G4 级以上湿电子化学品品控,客户群丰富....... 105

8. 溅射靶材:半导体制造关键材料,海外巨头优势明显 .... 108

8.1. 靶材:高金属纯度要求,半导体制造关键材料 ..... 108

8.2. 市场规模&竞争格局:增量可观,海外巨头优势明显 ..... 109

8.3. 相关公司 ....... 111

8.3.1. 江丰电子:国内高纯溅射靶材产业龙头,优质客户在手增长可期 .... 111

8.3.2. 有研新材:有色金属材料龙头,子公司有研亿金布局高端靶材产品 .... 113

9. 前驱体:薄膜沉积关键材料,国产替代空间广阔 ..... 115

9.1. 前驱体:薄膜沉积工艺核心材料 ..... 115

9.2. 市场规模&竞争格局:市场规模快速增长,发达国家占据垄断地位 ..... 118

9.3. 相关公司 ....... 120

9.3.1. 雅克科技:前驱体产业龙头,电子材料平台日渐成型.... 120

10. 第三代半导体材料:优势显著,下游应用场景广阔 ...... 121

10.1. SiC&GaN:物理性能佳,综合成本优势明显..... 123

10.1.1. 物理性能:能力损耗低、封装尺寸小、散热能力强 ...... 123

10.1.2. 制备成本:与传统产品价差持续缩小,综合成本优势明显 .... 124

10.2. 产业链:各环节产能增长..... 128

10.2.1. 供给端:产线陆续开通,产能不断增加 ..... 128

10.3. 竞争格局:美日欧三足鼎立,我国渐行渐近.... 129

10.4. 相关公司 ..... 132

10.4.1. 三安光电: 化合物半导体业务多轮驱动, 加速替代海外供应商 ..... 132

10.4.2. 天岳先进:国内领先第三代半导体碳化硅衬底材料制造商 .... 135

10.4.3. 露笑科技:成功研发6 英寸导电型碳化硅衬底片 ...... 136

10.4.4. 东尼电子:大力布局半导体领域碳化硅半导体材料 ...... 137

11. 投资建议 ..... 138

11.1. 重点公司估值表 ....... 138

11.2. 重点公司产品布局情况 ..... 139

12. 风险提示 ..... 143

图表目录

图1:半导体产业链 ...... 13

图2:集成电路制造流程 ..... 13

图3:半导体材料细分领域及占比(单位:%) ..... 14

图4:1971-2019 年晶体管数量遵循摩尔定律不断上升 ..... 14

图5:流片的成本随技术节点的推进不断上升 ....... 14

图6:全球半导体材料市场规模及增速 ..... 15

图7:全球半导体材料分产品情况 ...... 15

图8:2019 年中国半导体材料细分市场竞争格局 ..... 15

图9:2019 年中国半导体产业结构..... 15

图10:中国集成电路销售额 ...... 16

图11:中国集成电路进口额 ...... 16

图12:半导体材料验证流程 ...... 16

图13:全球半导体材料市场收入分布(按地区) .... 17

图14:全球半导体材料市场规模及增速(单位:亿美元,%) ...... 17

图15:中国半导体材料产业链全景图 ....... 17

图16:2021 年6 月-2022 年6 月硅料价格走势 ....... 18

图17:中国99.99%含量氖气价格(元/立方米) ...... 19

图18:2020Q4 全球集成电路制造用材料市场结构(%) ..... 22

图19:2021 年国内半导体制造材料市场结构(%) .... 22

图20:半导体硅片制备流程 ...... 23

图21:2016-2022 年全球芯片制造产能预测分布 ...... 24

图22:半导体硅片尺寸演进 ...... 24

图23:2018 年全球8 寸硅片终端应用领域情况(%) ....... 25

图24:2019-2024E 全球汽车用硅片需求量(百万片/月) .... 25

图25:300mm 硅片核心驱动力 ....... 25

图26:2018 年12 英寸硅片下游应用占比 ....... 26

图27:2019-2024E 智能手机对12 寸硅片需求(百万片) ....... 26

图28:2019-2024E 智能手机分类别芯片的12 寸硅片需求(百万片/月) ...... 26

图29:不同通信技术下每部智能手机SOI 硅片需求面积(mm2,%) .... 27

图30:2010-2020 年全球半导体硅片市场规模(不包含SOI 片)(亿美元) ....... 28

图31:2010-2020 年全球半导体硅片出货面积(不包含SOI 片)(百万平方英尺) ..... 28

图32:全球及国内SOI 市场规模(亿美元,%) ...... 28

图33:2020 年全球硅片分尺寸市场占比(%) ..... 29

图34:全球300mm 硅片供需情况预测.... 29

图35:2020 年国内硅片供应能力(百万平方英寸/年) ....... 29

图36:全球300mm 硅片需求及预测(千片/月) .... 30

图37:2018-2020 年全球前五大半导体硅片企业销售金额(亿美元,%) .... 31

图38:2019 年全球硅片制造商市场份额(%) ..... 31

图39:沪硅产业发展历程 ...... 32

图40:公司收并购及控股情况 ..... 32

图41:2016-2021 公司营业收入结构(百万元) .... 33

图42:沪硅产业营业收入及增速(单位:亿元,%) ..... 34

图43:沪硅产业归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 34

图44:2016-2021 公司销售毛利率及销售净利率(%) ..... 34

图45:公司母公司与子公司定位情况 ....... 35

图46:立昂微电分立器件产品 ..... 35

图47:金瑞泓硅片业务情况 ...... 35

图48:立昂东芯技术路线 ...... 36

图49:立昂微营业收入及增速(单位:亿元,%) ...... 36

图50:立昂微归母净利润及增速(单位:亿元,%) ..... 36

图51:2020-2021 年主营业务营收占比大幅提升(单位:亿元) .... 37

图52:2022H1 公司各项业务营收占比 .... 37

图53:公司盈利能力情况 ...... 37

图54:公司各业务毛利率情况(%) .... 37

图55:公司主营业务.... 38

图56:TCL 中环营业总收入及增速(单位:亿元,%) ..... 38

图57:TCL 中环归母净利润及增速(单位:亿元,%) ..... 38

图58:TCL 中环2022H1 营收结构(单位:%) .... 38

图59:TCL 中环新能源光伏产品 ..... 38

图60:公司半导体材料产品 ...... 39

图61:TCL 中环研发投入及占比(单位:亿元,%) ...... 39

图62:公司半导体材料领域营收及增速(单位:亿元,%) ....... 39

图63:TCL 中环毛利率与净利率 ..... 40

图64:2020 年中国工业气体细分气体市场规模占比 ...... 40

图65:电子特气在半导体制造过程中的应用 ..... 41

图66:2017-2026 年中国特种气体市场规模 ....... 41

图67:2021 年中国特种气体下游应用 ...... 42

图68:2017-2021 年中国特种气体细分市场规模 ...... 42

图69:2021 年电子特气下游应用 ....... 43

图70:2018 年全球特种气体市场竞争格局 ..... 43

图71:2020 年中国特种气体市场竞争格局 ..... 43

图72:华特气体发展历程 ...... 44

图73:华特气体营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 44

图74:华特气体归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 44

图75:2017-2021 年华特气体毛利率净利率 ....... 45

图76:2021 年华特气体业务构成 ....... 45

图77:华特气体各业务收入同比增长率 ....... 45

图78:2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 46

图79:2017-2021 年华特气体人均创收和人均创利 ..... 46

图80:南大光电发展历程 ...... 46

图81:南大光电营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 47

图82:南大光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 47

图83:2017-2021 年南大光电毛利率净利率 ....... 47

图84:2021 年南大光电业务构成 ....... 48

图85:南大光电各业务收入同比增长率 ....... 48

图86:2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 48

图87:2017-2021 年南大光电人均创收和人均创利 ..... 48

图88:正帆科技营业总收入和同比增长率(单位:亿元,%) ...... 49

图89:正帆科技归母净利润和同比增长率(单位:亿元,%) ...... 49

图90:2017-2021 年正帆科技毛利率净利率 ....... 49

图91:2021 年正帆科技业务构成 ....... 50

图92:正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率.... 50

表93:正帆科技电子气体主要产品 .... 50

图94:2017-2021 年研发费用及研发费用占比....... 50

图95:2017-2021 年正帆科技人均创收和人均创利 ..... 50

图96:金宏气体发展历程 ...... 51

图97:金宏气体营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 51

图98:金宏气体归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 51

图99:2017-2021 年金宏气体毛利率净利率 ....... 51

图100:2021 年金宏气体业务构成 ..... 52

图101:金宏气体各业务收入同比增长率 .... 52

图102:2018-2021 年研发费用及研发费用占比 .... 52

图103:2017-2021 年金宏气体人均创收和人均创利 ....... 52

图104:凯美特气发展历程 .... 53

图105:2017-2022H1 凯美特气营业总收入及增长率 .... 53

图106:2017-2022H1 凯美特气归母净利润及增长率 .... 53

图107:2017-2022H1 凯美特气销售毛利率及净利率 .... 54

图108:2022H1 凯美特气业务结构 ....... 54

图109:2018-2021 凯美特气研发费用及占比 ....... 54

图110:2017-2021 凯美特气人均创收及人均创利 ...... 54

图111:和远气体发展历程 .... 55

图112:2017-2022H1 和远气体营业总收入及增长率 .... 56

图113:2017-2022H1 和远气体归母净利润及增长率 .... 56

图114:2017-2021 和远气体销售毛利率及净利率 ...... 56

图115:2017-2021 和远气体分业务毛利率 .... 56

图116:2022H1 和远气体业务结构 ....... 56

图117:和远气体各业务收入同比增长率 .... 56

图118:2017-2021 年和远气体研发费用及研发费用占比 .... 57

图119:2017-2021 年和远气体人均创收和人均创利 ..... 57

图120:光刻胶是半导体产业链中的重要材料 ....... 57

图121:芯片制造材料细分领域占比 ..... 57

图122:光刻胶的应用流程 .... 58

图123:半导体光刻工艺流程图....... 59

图124:集成电路的微观结构 ....... 59

图125:曝光波长与光刻技术发展的关系 .... 60

图126:不同光刻胶与芯片制程对应关系 .... 60

图127:IC 制造中逻辑器件的技术节点和所需光刻工艺的对应关系..... 61

图128:全球光刻胶产业链图谱....... 62

图129:中国光刻胶产业链布局....... 62

图130:全球光刻胶研制专利分布 ...... 62

图131:光刻胶认证基本流程 ....... 62

图132:上海新阳光刻胶项目效益测算 ..... 63

图133:全球光刻胶市场规模(亿美元) .... 63

图134:中国光刻胶市场规模(亿元) ..... 63

图135:全球半导体光刻胶市场规模(亿美元) ...... 64

图136:全球KrF 光刻胶市场份额....... 65

图137:全球ArF 光刻胶市场份额 ...... 65

图138:北京科华部分光刻胶产品 ...... 65

图139:苏州瑞红部分光刻胶产品 ...... 65

图140:华懋科技营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 66

图141:华懋科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 66

图142:华懋科技2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 66

图143:华懋科技汽车安全气囊布产品展示 ....... 66

图144:徐州博康2020 年1-9 月营收结构 ..... 67

图145:徐州博康专利技术(部分) ..... 67

图146:徐州博康主营业务收入和净利润(亿元)...... 67

图147:徐州博康生产中心二期工程 ..... 67

图148:彤程新材营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 68

图149:彤程新材归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 68

图150:彤程新材2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 69

图151:彤程新材22H1 产品收入结构 ...... 69

图152:北京科华微电子DUV 光刻胶产品KMPDK3050 .... 70

图153:北京科华2019 及2020 年营收和归母净利润/万元 ..... 70

图154:北旭电子主要产品 .... 70

图155:北旭电子营收和利润总额/亿元 ....... 70

图156:晶瑞电材主要产品 .... 70

图157:晶瑞电材营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 71

图158:晶瑞电材归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 71

图159:晶瑞电材2016-22H1 销售毛利率和净利率 ...... 71

图160:晶瑞电材2022H1 年产品收入结构 ..... 71

图161:飞凯材料主要产品 .... 72

图162:飞凯材料营收及增速(单位:亿元,%) .... 73

图163:飞凯材料研发支出及占营收比例 .... 73

图164:飞凯材料2015-2021 销售毛利率和净利率..... 73

图165:飞凯材料2021 年产品收入结构 ...... 73

图166:光掩膜工作原理 .... 73

图167:光掩膜结构 ...... 74

图168:光掩膜基本制作流程 ....... 74

图169:匀胶铬版光掩膜制作流程 ...... 75

图170:光掩膜产业链 ..... 76

图171:光掩膜的应用 ..... 76

图172:2016-2019 全球光掩膜市场规模(单位:亿美元) ..... 77

图173:2015-2020 年中国光掩膜玻璃基板需求量分布(单位:万平方米) .... 77

图174:2020 年全球光掩膜板市场竞争格局 ...... 77

图175:全球光掩膜版领先企业高端掩膜版供应情况 ..... 78

图176:清溢光电2021 主营业务收入结构 ..... 79

图177:清溢光电营业收入及增速(单位:亿元,%) ....... 80

图178:清溢光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) ...... 80

图179:2017-2022H1 公司盈利能力 .... 80

图180:集成电路制造过程及CMP 工艺应用场景 .... 81

图181:CMP 平坦化效果图(CMOS 结构剖面图) .... 81

图182:半导体行业中CMP 的应用领域 ...... 82

图183:CMP 工作原理示意图 ...... 82

图184:CMP 材料分类占比 ...... 82

图185:CMP 研磨粒子在集成电路中的应用 ...... 84

图186:安集科技2016-2018 年主要原材料采购金额占比 ....... 85

图187:中国CMP 抛光材料市场规模及增长率(单位:亿元) .... 85

图188:2016-2018 全球CMP 抛光液市场规模(单位:亿美元) ....... 85

图189:2018 年全球CMP 抛光液市场格局 .... 86

图190:CMP 过程中硅片–磨粒–抛光垫之间的接触示意图 ...... 86

图191:复合型抛光垫及其示意图 ...... 86

图192:常见抛光垫结构及对应品牌 ..... 87

图193:全球抛光垫专利申请趋势图 ..... 87

图194:中国抛光垫专利申请趋势图 ..... 88

图195:主要抛光垫专利权人的申请及专利引用情况 ..... 88

图196:2016-2018 全球CMP 抛光垫市场规模(单位:亿美元) ....... 89

图197:2018 年全球CMP 抛光垫市场格局 .... 89

图198:鼎龙股份项目研发及资质认定时间轴 ....... 90

图199:鼎龙股份业务板块及主要产品 ..... 90

图200:鼎龙股份营收及增速(单位:亿元,%) .... 91

图201:鼎龙股份归母净利润及增速(单位:亿元,%) ...... 91

图202:鼎龙股份2012-2021 毛利率及净利率 ...... 91

图203:鼎龙股份2013-2021 分业务毛利率 ...... 91

图204:公司2021 年营收结构 .... 91

图205:CMP 业务2018-2021 营收及增速(单位:万元,%) ...... 91

图206:CMP 抛光垫经营主体——子公司鼎汇微电子股权结构图 .... 92

图207:公司发展历程 ..... 93

图208:安集科技营收及同比增速(单位:亿元,%) ...... 94

图209:安集科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) .... 94

图210:安集科技2016-2020 年营收结构 ..... 95

图211:安集科技2017-2020 年各业务增长率 ....... 95

图212:安集科技毛利率及净利率 ...... 95

图213:安集科技各细分业务毛利率 ...... 95

图214:湿电子化学品在集成电路制造中的应用 ...... 98

图215:电子湿化学品工艺流程图 ...... 98

图216:湿电子化学品主要分类....... 99

图217:2019 年细分湿电子化学品需求占比 ...... 99

图218:湿电子化学品技术要求....... 99

图219:2021 中国湿电子化学品市场需求结构 ...... 100

图220:2014-2021 年中国湿电子化学品产量及增长率 ....... 100

图221:2014-2021 年中国湿电子化学品需求量及增长率 ...... 100

图222:2014-2026E 年中国湿电子化学品市场规模(单位:亿元,%) ...... 101

图223:细分应用领域湿电子化学品市场规模(亿元) ..... 101

图224:2021 年全球湿电子化学品市场份额 ....... 101

图225:2020 年电子湿化学品整体国产化率 ....... 102

图226:芯片铜互连工艺及公司产品应用 ..... 103

图227:上海新阳营业总收入及同比增速(单位:亿元) ..... 104

图228:上海新阳归母净利润及同比增速(单位:亿元) ..... 104

图229:上海新阳2016-2021 销售毛利率和净利率 ....... 104

图230:上海新阳2021 年产品收入结构 ....... 104

图231:募投项目预计进程 ..... 105

图232:中巨芯产品市场应用示意图 ...... 106

图233:中巨芯主要产品、产品用途、产品应用领域及产品所处阶段(截至2022 年7 月).... 106

图234:中巨芯2021 年营收结构 ..... 106

图235:中巨芯通用湿电子化学品营收及增速(单位:亿元,%) .... 106

图236:中巨芯客户群体 ..... 107

图237:中巨芯营收及增速(单位:亿元,%) ..... 107

图238:中巨芯归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 107

图239:中巨芯毛利率及净利率情况 ...... 108

图240:半导体用靶材晶圆制造镀膜流程 ..... 108

图241:全球高纯溅射靶材市场容量规模(亿美元) ...... 109

图242:溅射靶材应用结构 ..... 109

图243:全球半导体销售规模(百万美元) ..... 109

图244:半导体及平板显示用靶材市场规模(亿元) ...... 109

图245:全球半导体靶材市场竞争格局 ...... 110

图246:2020 年中国靶材市场竞争格局 ..... 110

图247:高纯溅射靶材生产工艺(以铝靶为例) ....... 110

图248:江丰电子2021 营收结构 ..... 111

图249:江丰电子2016-2022H1 营业总收入及增速..... 112

图250:江丰电子2016-2022H1 归母净利润及增速..... 112

图251:江丰电子2016-2022H1 销售毛利率和净利率(%) .... 112

图252:江丰电子2016-2021 各业务毛利率情况 ...... 112

图253:公司主要客户分布情况.... 113

图254:2021 年有研新材主营业务收入结构 ....... 113

图255:有研新材2016-2022H1 营业总收入及增速..... 114

图256:有研新材2016-2022H1 归母净利润及增速..... 114

图257:有研新材2016-2022H1 销售毛利率及净利率 .... 114

图258:公司靶材产品 ...... 114

图259:前驱体制造流程 ..... 115

图260:前驱体材料在CVD 工艺中的应用 .... 116

图261:前驱体材料在ALD 工艺中的应用..... 116

图262:先进制程/3D 器件结构对薄膜沉积的要求 ....... 117

图263:国际半导体技术发展蓝图(ITRS) ..... 118

图264:全球前驱体市场规模(单位:亿美元) ....... 118

图265:全球存储芯片市场规模及增速(单位:亿美元,%) ..... 119

图266:中国存储芯片市场规模及增速(单位:亿元,%) ..... 119

图267:雅克科技历史沿革 ..... 120

图268:雅克科技营业收入及同比增速(单位:亿元,%) ...... 120

图269:雅克科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ...... 120

图270:雅克科技毛利率及净利率(%) ....... 121

图271:雅克科技2021 年业务构成 .... 121

图272:半导体材料的演化 ..... 122

图273:硅和化合物半导体应用的范围 ...... 122

图274:2020 年SiC、GaN 电力电子器件下游应用分布(单位%) .... 123

图275:碳化硅综合优势比较 .... 123

图276:三类代表性半导体材料物理特性比较 .... 124

图277:同规格碳化硅器件与硅器件对比 ..... 125

图278:2017 年-2020 年650V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) ..... 126

图279:2017 年-2020 年1200V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) .... 126

图280:碳化硅单晶生长示意图(左:液相生长法;右:物理气相传输法) .... 127

图281:HPVE 生长设备 ....... 127

图282:氨热法生长示意图 ..... 128

图283:助熔剂法生长过程示意图 ....... 128

图284:GaN 领域海外重点机构技术布局(专利数量)(截至2019 年4 月) ..... 130

图285:2020 年上半年全球SiC 衬底市场竞争格局 ...... 130

图286:碳化硅全球市场三足鼎立 ....... 131

图287:全球第三代半导体行业技术来源国分布(截止2021 年底) ....... 131

图288:中国第三代半导体专利申请数量处于领先地位 ..... 131

图289:第三代半导体材料专利申请趋势及技术来源国分布 .... 132

图290:三安光电化合物半导体布局广泛 ..... 132

图291:三安光电营收及增速(单位:亿元,%) ..... 134

图292:三安光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) ....... 134

图293:三安光电在氮化镓的应用领域 ..... 135

图294:天岳先进营业收入与同比增长状况(单位:亿元,%) .... 135

图295:露笑科技营业收入与同比增长状况(单位:亿元,%) .... 136

图296:东尼电子营业收入与同比增长状况(单位,亿元,%) .... 137

图297:重点跟踪公司估值信息(wind 一致预期,截至 2022.9.16) ..... 138

表1:半导体材料主要细分产品及用途 ..... 14

表2:国内晶圆厂扩产规划 .... 19

表3:2016-2022 中国半导体行业相关政策 .... 20

表4:半导体硅片分类、特性及应用领域 .... 23

表5:12 英寸硅片下游应用 ....... 24

表6:8 英寸硅片下游应用 ..... 25

表7:公司主要子公司情况 .... 32

表8:公司主营业务情况 ..... 33

表9:中国电气特气主要生产企业及电子特气产品情况..... 44

表10:华特气体主要气体产品 ..... 46

表11:南大光电主要气体产品 ..... 48

表12:金宏气体主要气体产品 ..... 52

表13:凯美特气募投项目 ...... 55

表14:和远气体电子特气主要投资项目 ...... 57

表15:光刻胶主要成分 ....... 58

表16:光刻胶按照下游应用分类 .... 59

表17:IC 集成度与光刻技术发展历程....... 60

表18:主要的光刻胶体系 ...... 61

表19:2019 年中国半导体光刻胶行业企业布局情况 ...... 64

表20:徐州博康旗下汉拓光学产品梳理 ...... 66

表21:公司光刻胶产销情况 ...... 71

表22:苏州瑞红部分光刻胶产品 .... 72

表23:2020 年全球主要平板显示掩膜版企业销售金额排名(单位:万日元,%) .... 78

表24:公司掩膜板产品类型 ...... 79

表25:公司半导体产品及客户情况 .... 80

表26:CMP 抛光液主要成分及作用 ...... 83

表27:主要CMP 抛光液种类及应用领域 .... 84

表28:CMP 抛光垫业务历史 .... 92

表29:公司在CMP 抛光液与功能性湿电子化学的产品及技术上均有成果与布局 ..... 96

表30:中国大陆主要湿电子化学品生产企业 ...... 102

表31:靶材分类 ...... 108

表32:江丰电子半导体芯片靶材产品 .... 112

表33:有研亿金靶材扩产项目 ...... 115

表34:中国前驱体厂商产品进展 ..... 119

表35:雅克科技募投资金情况(万元) ....... 121

表36:GaN 单晶衬底的生长工艺 ..... 127

表37:国内SiC 晶圆制造产线(截止2021 年) ....... 129

表38:国内GaN 晶圆制造产线(截止2021 年) ..... 129

表39:2020 年我国SiC 产能统计 .... 129

表40:2020 年我国GaN 产能统计 ...... 129

表11:三安光电核心技术服务 ...... 133

表41:三安光电核心技术服务 ...... 133

表42:重点半导体材料公司产品布局情况 ....... 139


[报告关键词]:   半导体  
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