1.3.1. 驱动因素1:上游涨价+供应短缺,半导体材料价格增长 .... 17
1.3.2. 驱动因素2:下游扩产,半导体材料市场空间广阔 .... 19
1.3.3. 驱动因素3:政策加码,国产替代进程加速 ...... 20
2.2.1. 200mm 半导体硅片:新能源汽车助推功率器件增长,硅片受益面持续扩大...... 24
2.2.2. 300mm 半导体硅片:存储芯片终端应用重点集中于移动端,智能手机行业升级将推动硅片发展 .... 25
2.2.3. SOI 硅片:智能手机带动需求上升,沪硅定增项目将填补国内300mmSOI技术空白 ....... 27
2.3.1. 半导体硅片景气度提升,全球300mm 半导体硅片或将持续供不应求 ....... 27
2.3.2. 竞争格局:全球市场步入寡头垄断格局,沪硅在国内份额领先 .... 30
2.4.1. 沪硅产业:国内半导体硅片产业航母,开启高端SOI 蓝海共筑核心优势 . 31
2.4.2. 立昂微:核心赛道优质龙头,“三轮驱动”公司成长....... 35
2.4.3. TCL 中环:双拳出击,重塑全球硅片格局 ....... 37
3.3.1. 华特气体:工业气体国产龙头,主营业务增长稳定 ....... 44
3.3.2. 南大光电:电子特气领先企业,三大业务板块协同发展 ...... 46
3.3.3. 正帆科技:工艺介质系统先行者,装备+材料+服务打造核心竞争力 ..... 48
3.3.4. 金宏气体:国内民营气体龙头,纵横发展未来可期 ....... 51
3.3.5. 凯美特气:重点发展电子特气业务,积极推进ASML 认证 ..... 53
3.3.6. 和远气体:工业气体领先企业,积极开拓电子特气 ....... 55
4.5.1. 华懋科技:投资半导体光刻胶龙头徐州博康,产业链一体化优势显著 ...... 65
4.5.2. 彤程新材:收购北京科华+北旭电子,打造半导体&FPD 光刻胶平台 ..... 68
4.5.3. 晶瑞电材:中端光刻胶进口替代创造成长空间 .... 70
4.5.4. 飞凯材料:紫外固化和电子化学品龙头,TFT-LCD 光刻胶产能待释放 ...... 72
5.3.1. 清溢光电:规模最大国产光掩膜供应商之一,客户拓展实现突破 ....... 79
6.2.1. CMP 抛光液工艺:配方成分复杂+种类繁多,研磨粒子成本占比高 .... 83
6.2.2. 全球CMP 抛光液市场:卡博特微电子等美日企业主导 .... 85
6.3.1. CMP 抛光垫工艺:突破技术壁垒,加速进口替代.... 86
6.3.2. 全球CMP 抛光垫市场:陶氏杜邦占据垄断地位 ...... 89
6.4.1. 鼎龙股份:国产CMP 抛光垫核心供应商,泛半导体材料业务迎来放量 .... 89
6.4.2. 安集科技:国产CMP 抛光液龙头,产品品类逐步拓展 .... 93
7.4.1. 上海新阳:湿电子化学品产业龙头,多项产品不断突破,定增加码光刻胶....... 103
7.4.2. 中巨芯:电子化学材料龙头,G4 级以上湿电子化学品品控,客户群丰富....... 105
8.3.1. 江丰电子:国内高纯溅射靶材产业龙头,优质客户在手增长可期 .... 111
8.3.2. 有研新材:有色金属材料龙头,子公司有研亿金布局高端靶材产品 .... 113
9.3.1. 雅克科技:前驱体产业龙头,电子材料平台日渐成型.... 120
10.1.1. 物理性能:能力损耗低、封装尺寸小、散热能力强 ...... 123
10.1.2. 制备成本:与传统产品价差持续缩小,综合成本优势明显 .... 124
10.2.1. 供给端:产线陆续开通,产能不断增加 ..... 128
10.4.1. 三安光电: 化合物半导体业务多轮驱动, 加速替代海外供应商 ..... 132
10.4.2. 天岳先进:国内领先第三代半导体碳化硅衬底材料制造商 .... 135
10.4.3. 露笑科技:成功研发6 英寸导电型碳化硅衬底片 ...... 136
10.4.4. 东尼电子:大力布局半导体领域碳化硅半导体材料 ...... 137
11.1. 重点公司估值表 ....... 138
11.2. 重点公司产品布局情况 ..... 139
图1:半导体产业链 ...... 13
图2:集成电路制造流程 ..... 13
图3:半导体材料细分领域及占比(单位:%) ..... 14
图4:1971-2019 年晶体管数量遵循摩尔定律不断上升 ..... 14
图5:流片的成本随技术节点的推进不断上升 ....... 14
图6:全球半导体材料市场规模及增速 ..... 15
图7:全球半导体材料分产品情况 ...... 15
图8:2019 年中国半导体材料细分市场竞争格局 ..... 15
图9:2019 年中国半导体产业结构..... 15
图10:中国集成电路销售额 ...... 16
图11:中国集成电路进口额 ...... 16
图12:半导体材料验证流程 ...... 16
图13:全球半导体材料市场收入分布(按地区) .... 17
图14:全球半导体材料市场规模及增速(单位:亿美元,%) ...... 17
图15:中国半导体材料产业链全景图 ....... 17
图16:2021 年6 月-2022 年6 月硅料价格走势 ....... 18
图17:中国99.99%含量氖气价格(元/立方米) ...... 19
图18:2020Q4 全球集成电路制造用材料市场结构(%) ..... 22
图19:2021 年国内半导体制造材料市场结构(%) .... 22
图20:半导体硅片制备流程 ...... 23
图21:2016-2022 年全球芯片制造产能预测分布 ...... 24
图22:半导体硅片尺寸演进 ...... 24
图23:2018 年全球8 寸硅片终端应用领域情况(%) ....... 25
图24:2019-2024E 全球汽车用硅片需求量(百万片/月) .... 25
图25:300mm 硅片核心驱动力 ....... 25
图26:2018 年12 英寸硅片下游应用占比 ....... 26
图27:2019-2024E 智能手机对12 寸硅片需求(百万片) ....... 26
图28:2019-2024E 智能手机分类别芯片的12 寸硅片需求(百万片/月) ...... 26
图29:不同通信技术下每部智能手机SOI 硅片需求面积(mm2,%) .... 27
图30:2010-2020 年全球半导体硅片市场规模(不包含SOI 片)(亿美元) ....... 28
图31:2010-2020 年全球半导体硅片出货面积(不包含SOI 片)(百万平方英尺) ..... 28
图32:全球及国内SOI 市场规模(亿美元,%) ...... 28
图33:2020 年全球硅片分尺寸市场占比(%) ..... 29
图34:全球300mm 硅片供需情况预测.... 29
图35:2020 年国内硅片供应能力(百万平方英寸/年) ....... 29
图36:全球300mm 硅片需求及预测(千片/月) .... 30
图37:2018-2020 年全球前五大半导体硅片企业销售金额(亿美元,%) .... 31
图38:2019 年全球硅片制造商市场份额(%) ..... 31
图39:沪硅产业发展历程 ...... 32
图40:公司收并购及控股情况 ..... 32
图41:2016-2021 公司营业收入结构(百万元) .... 33
图42:沪硅产业营业收入及增速(单位:亿元,%) ..... 34
图43:沪硅产业归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 34
图44:2016-2021 公司销售毛利率及销售净利率(%) ..... 34
图45:公司母公司与子公司定位情况 ....... 35
图46:立昂微电分立器件产品 ..... 35
图47:金瑞泓硅片业务情况 ...... 35
图48:立昂东芯技术路线 ...... 36
图49:立昂微营业收入及增速(单位:亿元,%) ...... 36
图50:立昂微归母净利润及增速(单位:亿元,%) ..... 36
图51:2020-2021 年主营业务营收占比大幅提升(单位:亿元) .... 37
图52:2022H1 公司各项业务营收占比 .... 37
图53:公司盈利能力情况 ...... 37
图54:公司各业务毛利率情况(%) .... 37
图55:公司主营业务.... 38
图56:TCL 中环营业总收入及增速(单位:亿元,%) ..... 38
图57:TCL 中环归母净利润及增速(单位:亿元,%) ..... 38
图58:TCL 中环2022H1 营收结构(单位:%) .... 38
图59:TCL 中环新能源光伏产品 ..... 38
图60:公司半导体材料产品 ...... 39
图61:TCL 中环研发投入及占比(单位:亿元,%) ...... 39
图62:公司半导体材料领域营收及增速(单位:亿元,%) ....... 39
图63:TCL 中环毛利率与净利率 ..... 40
图64:2020 年中国工业气体细分气体市场规模占比 ...... 40
图65:电子特气在半导体制造过程中的应用 ..... 41
图66:2017-2026 年中国特种气体市场规模 ....... 41
图67:2021 年中国特种气体下游应用 ...... 42
图68:2017-2021 年中国特种气体细分市场规模 ...... 42
图69:2021 年电子特气下游应用 ....... 43
图70:2018 年全球特种气体市场竞争格局 ..... 43
图71:2020 年中国特种气体市场竞争格局 ..... 43
图72:华特气体发展历程 ...... 44
图73:华特气体营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 44
图74:华特气体归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 44
图75:2017-2021 年华特气体毛利率净利率 ....... 45
图76:2021 年华特气体业务构成 ....... 45
图77:华特气体各业务收入同比增长率 ....... 45
图78:2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 46
图79:2017-2021 年华特气体人均创收和人均创利 ..... 46
图80:南大光电发展历程 ...... 46
图81:南大光电营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 47
图82:南大光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 47
图83:2017-2021 年南大光电毛利率净利率 ....... 47
图84:2021 年南大光电业务构成 ....... 48
图85:南大光电各业务收入同比增长率 ....... 48
图86:2018-2021 年研发费用及研发费用占比....... 48
图87:2017-2021 年南大光电人均创收和人均创利 ..... 48
图88:正帆科技营业总收入和同比增长率(单位:亿元,%) ...... 49
图89:正帆科技归母净利润和同比增长率(单位:亿元,%) ...... 49
图90:2017-2021 年正帆科技毛利率净利率 ....... 49
图91:2021 年正帆科技业务构成 ....... 50
图92:正帆科技电子气体业务营业收入同比增长率.... 50
表93:正帆科技电子气体主要产品 .... 50
图94:2017-2021 年研发费用及研发费用占比....... 50
图95:2017-2021 年正帆科技人均创收和人均创利 ..... 50
图96:金宏气体发展历程 ...... 51
图97:金宏气体营业总收入及增速(单位:亿元,%) .... 51
图98:金宏气体归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 51
图99:2017-2021 年金宏气体毛利率净利率 ....... 51
图100:2021 年金宏气体业务构成 ..... 52
图101:金宏气体各业务收入同比增长率 .... 52
图102:2018-2021 年研发费用及研发费用占比 .... 52
图103:2017-2021 年金宏气体人均创收和人均创利 ....... 52
图104:凯美特气发展历程 .... 53
图105:2017-2022H1 凯美特气营业总收入及增长率 .... 53
图106:2017-2022H1 凯美特气归母净利润及增长率 .... 53
图107:2017-2022H1 凯美特气销售毛利率及净利率 .... 54
图108:2022H1 凯美特气业务结构 ....... 54
图109:2018-2021 凯美特气研发费用及占比 ....... 54
图110:2017-2021 凯美特气人均创收及人均创利 ...... 54
图111:和远气体发展历程 .... 55
图112:2017-2022H1 和远气体营业总收入及增长率 .... 56
图113:2017-2022H1 和远气体归母净利润及增长率 .... 56
图114:2017-2021 和远气体销售毛利率及净利率 ...... 56
图115:2017-2021 和远气体分业务毛利率 .... 56
图116:2022H1 和远气体业务结构 ....... 56
图117:和远气体各业务收入同比增长率 .... 56
图118:2017-2021 年和远气体研发费用及研发费用占比 .... 57
图119:2017-2021 年和远气体人均创收和人均创利 ..... 57
图120:光刻胶是半导体产业链中的重要材料 ....... 57
图121:芯片制造材料细分领域占比 ..... 57
图122:光刻胶的应用流程 .... 58
图123:半导体光刻工艺流程图....... 59
图124:集成电路的微观结构 ....... 59
图125:曝光波长与光刻技术发展的关系 .... 60
图126:不同光刻胶与芯片制程对应关系 .... 60
图127:IC 制造中逻辑器件的技术节点和所需光刻工艺的对应关系..... 61
图128:全球光刻胶产业链图谱....... 62
图129:中国光刻胶产业链布局....... 62
图130:全球光刻胶研制专利分布 ...... 62
图131:光刻胶认证基本流程 ....... 62
图132:上海新阳光刻胶项目效益测算 ..... 63
图133:全球光刻胶市场规模(亿美元) .... 63
图134:中国光刻胶市场规模(亿元) ..... 63
图135:全球半导体光刻胶市场规模(亿美元) ...... 64
图136:全球KrF 光刻胶市场份额....... 65
图137:全球ArF 光刻胶市场份额 ...... 65
图138:北京科华部分光刻胶产品 ...... 65
图139:苏州瑞红部分光刻胶产品 ...... 65
图140:华懋科技营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 66
图141:华懋科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 66
图142:华懋科技2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 66
图143:华懋科技汽车安全气囊布产品展示 ....... 66
图144:徐州博康2020 年1-9 月营收结构 ..... 67
图145:徐州博康专利技术(部分) ..... 67
图146:徐州博康主营业务收入和净利润(亿元)...... 67
图147:徐州博康生产中心二期工程 ..... 67
图148:彤程新材营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 68
图149:彤程新材归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 68
图150:彤程新材2016-22H1 销售毛利率和净利率 .... 69
图151:彤程新材22H1 产品收入结构 ...... 69
图152:北京科华微电子DUV 光刻胶产品KMPDK3050 .... 70
图153:北京科华2019 及2020 年营收和归母净利润/万元 ..... 70
图154:北旭电子主要产品 .... 70
图155:北旭电子营收和利润总额/亿元 ....... 70
图156:晶瑞电材主要产品 .... 70
图157:晶瑞电材营业总收入及同比增速(单位:亿元,%) ..... 71
图158:晶瑞电材归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ..... 71
图159:晶瑞电材2016-22H1 销售毛利率和净利率 ...... 71
图160:晶瑞电材2022H1 年产品收入结构 ..... 71
图161:飞凯材料主要产品 .... 72
图162:飞凯材料营收及增速(单位:亿元,%) .... 73
图163:飞凯材料研发支出及占营收比例 .... 73
图164:飞凯材料2015-2021 销售毛利率和净利率..... 73
图165:飞凯材料2021 年产品收入结构 ...... 73
图166:光掩膜工作原理 .... 73
图167:光掩膜结构 ...... 74
图168:光掩膜基本制作流程 ....... 74
图169:匀胶铬版光掩膜制作流程 ...... 75
图170:光掩膜产业链 ..... 76
图171:光掩膜的应用 ..... 76
图172:2016-2019 全球光掩膜市场规模(单位:亿美元) ..... 77
图173:2015-2020 年中国光掩膜玻璃基板需求量分布(单位:万平方米) .... 77
图174:2020 年全球光掩膜板市场竞争格局 ...... 77
图175:全球光掩膜版领先企业高端掩膜版供应情况 ..... 78
图176:清溢光电2021 主营业务收入结构 ..... 79
图177:清溢光电营业收入及增速(单位:亿元,%) ....... 80
图178:清溢光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) ...... 80
图179:2017-2022H1 公司盈利能力 .... 80
图180:集成电路制造过程及CMP 工艺应用场景 .... 81
图181:CMP 平坦化效果图(CMOS 结构剖面图) .... 81
图182:半导体行业中CMP 的应用领域 ...... 82
图183:CMP 工作原理示意图 ...... 82
图184:CMP 材料分类占比 ...... 82
图185:CMP 研磨粒子在集成电路中的应用 ...... 84
图186:安集科技2016-2018 年主要原材料采购金额占比 ....... 85
图187:中国CMP 抛光材料市场规模及增长率(单位:亿元) .... 85
图188:2016-2018 全球CMP 抛光液市场规模(单位:亿美元) ....... 85
图189:2018 年全球CMP 抛光液市场格局 .... 86
图190:CMP 过程中硅片–磨粒–抛光垫之间的接触示意图 ...... 86
图191:复合型抛光垫及其示意图 ...... 86
图192:常见抛光垫结构及对应品牌 ..... 87
图193:全球抛光垫专利申请趋势图 ..... 87
图194:中国抛光垫专利申请趋势图 ..... 88
图195:主要抛光垫专利权人的申请及专利引用情况 ..... 88
图196:2016-2018 全球CMP 抛光垫市场规模(单位:亿美元) ....... 89
图197:2018 年全球CMP 抛光垫市场格局 .... 89
图198:鼎龙股份项目研发及资质认定时间轴 ....... 90
图199:鼎龙股份业务板块及主要产品 ..... 90
图200:鼎龙股份营收及增速(单位:亿元,%) .... 91
图201:鼎龙股份归母净利润及增速(单位:亿元,%) ...... 91
图202:鼎龙股份2012-2021 毛利率及净利率 ...... 91
图203:鼎龙股份2013-2021 分业务毛利率 ...... 91
图204:公司2021 年营收结构 .... 91
图205:CMP 业务2018-2021 营收及增速(单位:万元,%) ...... 91
图206:CMP 抛光垫经营主体——子公司鼎汇微电子股权结构图 .... 92
图207:公司发展历程 ..... 93
图208:安集科技营收及同比增速(单位:亿元,%) ...... 94
图209:安集科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) .... 94
图210:安集科技2016-2020 年营收结构 ..... 95
图211:安集科技2017-2020 年各业务增长率 ....... 95
图212:安集科技毛利率及净利率 ...... 95
图213:安集科技各细分业务毛利率 ...... 95
图214:湿电子化学品在集成电路制造中的应用 ...... 98
图215:电子湿化学品工艺流程图 ...... 98
图216:湿电子化学品主要分类....... 99
图217:2019 年细分湿电子化学品需求占比 ...... 99
图218:湿电子化学品技术要求....... 99
图219:2021 中国湿电子化学品市场需求结构 ...... 100
图220:2014-2021 年中国湿电子化学品产量及增长率 ....... 100
图221:2014-2021 年中国湿电子化学品需求量及增长率 ...... 100
图222:2014-2026E 年中国湿电子化学品市场规模(单位:亿元,%) ...... 101
图223:细分应用领域湿电子化学品市场规模(亿元) ..... 101
图224:2021 年全球湿电子化学品市场份额 ....... 101
图225:2020 年电子湿化学品整体国产化率 ....... 102
图226:芯片铜互连工艺及公司产品应用 ..... 103
图227:上海新阳营业总收入及同比增速(单位:亿元) ..... 104
图228:上海新阳归母净利润及同比增速(单位:亿元) ..... 104
图229:上海新阳2016-2021 销售毛利率和净利率 ....... 104
图230:上海新阳2021 年产品收入结构 ....... 104
图231:募投项目预计进程 ..... 105
图232:中巨芯产品市场应用示意图 ...... 106
图233:中巨芯主要产品、产品用途、产品应用领域及产品所处阶段(截至2022 年7 月).... 106
图234:中巨芯2021 年营收结构 ..... 106
图235:中巨芯通用湿电子化学品营收及增速(单位:亿元,%) .... 106
图236:中巨芯客户群体 ..... 107
图237:中巨芯营收及增速(单位:亿元,%) ..... 107
图238:中巨芯归母净利润及增速(单位:亿元,%) .... 107
图239:中巨芯毛利率及净利率情况 ...... 108
图240:半导体用靶材晶圆制造镀膜流程 ..... 108
图241:全球高纯溅射靶材市场容量规模(亿美元) ...... 109
图242:溅射靶材应用结构 ..... 109
图243:全球半导体销售规模(百万美元) ..... 109
图244:半导体及平板显示用靶材市场规模(亿元) ...... 109
图245:全球半导体靶材市场竞争格局 ...... 110
图246:2020 年中国靶材市场竞争格局 ..... 110
图247:高纯溅射靶材生产工艺(以铝靶为例) ....... 110
图248:江丰电子2021 营收结构 ..... 111
图249:江丰电子2016-2022H1 营业总收入及增速..... 112
图250:江丰电子2016-2022H1 归母净利润及增速..... 112
图251:江丰电子2016-2022H1 销售毛利率和净利率(%) .... 112
图252:江丰电子2016-2021 各业务毛利率情况 ...... 112
图253:公司主要客户分布情况.... 113
图254:2021 年有研新材主营业务收入结构 ....... 113
图255:有研新材2016-2022H1 营业总收入及增速..... 114
图256:有研新材2016-2022H1 归母净利润及增速..... 114
图257:有研新材2016-2022H1 销售毛利率及净利率 .... 114
图258:公司靶材产品 ...... 114
图259:前驱体制造流程 ..... 115
图260:前驱体材料在CVD 工艺中的应用 .... 116
图261:前驱体材料在ALD 工艺中的应用..... 116
图262:先进制程/3D 器件结构对薄膜沉积的要求 ....... 117
图263:国际半导体技术发展蓝图(ITRS) ..... 118
图264:全球前驱体市场规模(单位:亿美元) ....... 118
图265:全球存储芯片市场规模及增速(单位:亿美元,%) ..... 119
图266:中国存储芯片市场规模及增速(单位:亿元,%) ..... 119
图267:雅克科技历史沿革 ..... 120
图268:雅克科技营业收入及同比增速(单位:亿元,%) ...... 120
图269:雅克科技归母净利润及同比增速(单位:亿元,%) ...... 120
图270:雅克科技毛利率及净利率(%) ....... 121
图271:雅克科技2021 年业务构成 .... 121
图272:半导体材料的演化 ..... 122
图273:硅和化合物半导体应用的范围 ...... 122
图274:2020 年SiC、GaN 电力电子器件下游应用分布(单位%) .... 123
图275:碳化硅综合优势比较 .... 123
图276:三类代表性半导体材料物理特性比较 .... 124
图277:同规格碳化硅器件与硅器件对比 ..... 125
图278:2017 年-2020 年650V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) ..... 126
图279:2017 年-2020 年1200V 的SiCSBD 价格持续下降(元/A) .... 126
图280:碳化硅单晶生长示意图(左:液相生长法;右:物理气相传输法) .... 127
图281:HPVE 生长设备 ....... 127
图282:氨热法生长示意图 ..... 128
图283:助熔剂法生长过程示意图 ....... 128
图284:GaN 领域海外重点机构技术布局(专利数量)(截至2019 年4 月) ..... 130
图285:2020 年上半年全球SiC 衬底市场竞争格局 ...... 130
图286:碳化硅全球市场三足鼎立 ....... 131
图287:全球第三代半导体行业技术来源国分布(截止2021 年底) ....... 131
图288:中国第三代半导体专利申请数量处于领先地位 ..... 131
图289:第三代半导体材料专利申请趋势及技术来源国分布 .... 132
图290:三安光电化合物半导体布局广泛 ..... 132
图291:三安光电营收及增速(单位:亿元,%) ..... 134
图292:三安光电归母净利润及增速(单位:亿元,%) ....... 134
图293:三安光电在氮化镓的应用领域 ..... 135
图294:天岳先进营业收入与同比增长状况(单位:亿元,%) .... 135
图295:露笑科技营业收入与同比增长状况(单位:亿元,%) .... 136
图296:东尼电子营业收入与同比增长状况(单位,亿元,%) .... 137
图297:重点跟踪公司估值信息(wind 一致预期,截至 2022.9.16) ..... 138
表1:半导体材料主要细分产品及用途 ..... 14
表2:国内晶圆厂扩产规划 .... 19
表3:2016-2022 中国半导体行业相关政策 .... 20
表4:半导体硅片分类、特性及应用领域 .... 23
表5:12 英寸硅片下游应用 ....... 24
表6:8 英寸硅片下游应用 ..... 25
表7:公司主要子公司情况 .... 32
表8:公司主营业务情况 ..... 33
表9:中国电气特气主要生产企业及电子特气产品情况..... 44
表10:华特气体主要气体产品 ..... 46
表11:南大光电主要气体产品 ..... 48
表12:金宏气体主要气体产品 ..... 52
表13:凯美特气募投项目 ...... 55
表14:和远气体电子特气主要投资项目 ...... 57
表15:光刻胶主要成分 ....... 58
表16:光刻胶按照下游应用分类 .... 59
表17:IC 集成度与光刻技术发展历程....... 60
表18:主要的光刻胶体系 ...... 61
表19:2019 年中国半导体光刻胶行业企业布局情况 ...... 64
表20:徐州博康旗下汉拓光学产品梳理 ...... 66
表21:公司光刻胶产销情况 ...... 71
表22:苏州瑞红部分光刻胶产品 .... 72
表23:2020 年全球主要平板显示掩膜版企业销售金额排名(单位:万日元,%) .... 78
表24:公司掩膜板产品类型 ...... 79
表25:公司半导体产品及客户情况 .... 80
表26:CMP 抛光液主要成分及作用 ...... 83
表27:主要CMP 抛光液种类及应用领域 .... 84
表28:CMP 抛光垫业务历史 .... 92
表29:公司在CMP 抛光液与功能性湿电子化学的产品及技术上均有成果与布局 ..... 96
表30:中国大陆主要湿电子化学品生产企业 ...... 102
表31:靶材分类 ...... 108
表32:江丰电子半导体芯片靶材产品 .... 112
表33:有研亿金靶材扩产项目 ...... 115
表34:中国前驱体厂商产品进展 ..... 119
表35:雅克科技募投资金情况(万元) ....... 121
表36:GaN 单晶衬底的生长工艺 ..... 127
表37:国内SiC 晶圆制造产线(截止2021 年) ....... 129
表38:国内GaN 晶圆制造产线(截止2021 年) ..... 129
表39:2020 年我国SiC 产能统计 .... 129
表40:2020 年我国GaN 产能统计 ...... 129
表11:三安光电核心技术服务 ...... 133
表41:三安光电核心技术服务 ...... 133
表42:重点半导体材料公司产品布局情况 ....... 139
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